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国家知识产权局信息显示，艾塔尔公司申请一项名为“磁性Z致动器和包括该致动器的晶圆保持器”的专利，公开号CN122577562A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本发明涉及一种具有重力补偿的用于有效载荷定位的磁性Z致动器，其包括静止组件和构造成相对于静止组件移动的移动组件。静止组件包括管状磁轭以及彼此上下叠置地抵靠磁轭的内壁安装的至少一个上永磁体和下永磁体。上永磁体和下永磁体中的每个是沿着磁轭的整个内圆周延伸的环形形状或沿着内圆周的一部分延伸的弓形形状。上永磁体具有与下永磁体的径向磁化相反的径向磁化。移动组件包括：磁轭；永磁体，其是环形形状并且围绕磁轭定位，或是覆盖轭的圆周的一部分的弓形形状；以及线圈，其围绕磁轭安装。静止和移动组件构造成通过抵消重力来将有效载荷保持于稳定位置中。至少一个线圈布置成被通电，使得移动组件相对于静止组件向上或向下移动。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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