北京
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国家知识产权局信息显示，巴川集团股份有限公司申请一项名为“干法蚀刻掩模用组合物”的专利，公开号CN122580611A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，提供一种与可形成耐蚀刻性提高的掩模（抗蚀剂）的干法蚀刻掩模用组合物有关的技术。本发明的一方式是干法蚀刻掩模用组合物。该干法蚀刻掩模用组合物含有有机金属盐及极性溶剂。干燥时的所述有机金属盐相对于固体成分整体的含有率为90质量%以上。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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