北京
国家知识产权局信息显示，杭州富芯半导体有限公司取得一项名为“一种光刻机”的专利，授权公告号CN224624918U，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种光刻机，包括工艺腔和采样管；采样管的一端设置在工艺腔内、另一端延伸至工艺腔外，采样管的管壁与工艺腔的腔壁密封连接。光刻机在正常工作时，采样管位于工艺腔外的一端与一氨气分析仪连接，氨气分析仪还通过一控制器与报警器通信连接，由此，氨气分析仪可通过采样管实时采集工艺腔内的气体，进而对工艺腔内的氨气浓度进行实时、准确地检测，控制器在工艺腔内的氨气浓度大于或等于设定的氨气浓度阈值时控制报警器报警，以提示操作者及时对光刻机及和/或与光刻机配合的其他设备进行维护，避免发生在工艺腔内的氨气浓度过高时进行光刻而导致晶圆的关键尺寸发生异常的问题。
天眼查资料显示，杭州富芯半导体有限公司，成立于2019年，位于杭州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本945000万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州富芯半导体有限公司参与招投标项目36次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息380条，此外企业还拥有行政许可28个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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