国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“HCD机台”的专利,公开号CN122543008A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明公开了一种HCD机台,其管道冷阱的管壁为双层中空金属结构,管壁的中空部分内设置有环绕状中空管路,中空管路内部具有冷却介质,调节阀设置在中空管路的入口处,控制器用于将温度传感器实时检测的管道冷阱的温度与设定温度值进行比较计算后输出控制信号控制调节阀的开度,调节中空管路内部的冷却介质流量,进而实现管道冷阱的冷却温度的精准自动调节,使离开HCD机台的反应器生长区的工艺气体中的副产物可在管道冷阱的内管壁有效充分均匀冷却沉积。
天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2102次,专利信息2878条,此外企业还拥有行政许可550个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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