国家知识产权局信息显示,胜科纳米(苏州)股份有限公司申请一项名为“一种晶体管PN结电学参数的分析装置及分析方法”的专利,公开号CN122545989A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶体管PN结电学参数的分析装置及分析方法。该装置包括真空腔体,其内部设有样品台;纳米级四探针包括四个彼此电隔离等间距排列的探针,用于沿PN结深度剖面进行步进扫描;定位驱动模块用于驱动纳米级四探针进行纳米级步进式移动;信号采集与偏压模块用于施加偏置电压并采集电流与电压信号;数据处理单元用于基于四探针原理计算每一深度节点的方块电阻,绘制方块电阻及载流子浓度随深度的变化曲线,并结合PN结内建电场模型确定电学结深。本发明采用纳米级四探针架构消除了接触电阻干扰,将空间分辨率提升至纳米级,可同步提取载流子浓度、迁移率、耗尽层宽度及反向饱和电流等多维电学参数,适用晶体管中PN结的精准电学表征与工艺优化。
天眼查资料显示,胜科纳米(苏州)股份有限公司,成立于2012年,位于苏州市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本40331.1486万人民币。通过天眼查大数据分析,胜科纳米(苏州)股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目46次,财产线索方面有商标信息53条,专利信息110条,此外企业还拥有行政许可26个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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