山东
近日获悉，西海岸新区拓荆科技（青岛）有限公司年产100台套先进半导体设备项目通过节能验收。
项目占地面积10000㎡，租赁中石大大学科技园有限公司位于西海岸新区长江路街道富春江路1665号动力谷8号办公楼的1至3层（建筑面积5417.6㎡）用于办公，租赁9号楼厂房（建筑面积为4118.35㎡）用于研发和组装，总建筑面积为9535.95㎡。项目主要生产系统包括组装MPCVD薄膜设备生产线1条，并进行MPCVD薄膜设备薄膜沉积工艺的研发，项目建成后，年产先进半导体设备100台套。
本项目主要设备有自研MPCVD设备、微波发生器等设备一共8台（5台为新购，备用设备3台）；辅助生产系统、变配电系统、动力系统、通风系统、消防系统、给排水系统、照明系统等，主要设备有热回收螺杆机组、冷却塔等设备一共68台，其中使用设备49台（38台新购，30台租赁），备用数量49台（27台新购，22台租赁）；附属系统租赁现有的办公楼和厂房，利用现有变配电系统、消防系统等。
项目2025年9月-11月完成基础施工；2025年12月-2026年2月完成设备安装、调试工作；2026年3月-6月准备验收工作；2026年7月14日组织专家对项目进行了节能验收，并形成了专家验收意见，本次验收结论为“合格”。
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