国家知识产权局信息显示,瑞声科技(新加坡)有限公司申请一项名为“一种MEMS元件”的专利,公开号CN122496764A,申请日期为2026年2月。
专利摘要显示,本发明公开了一种MEMS元件,包括背板以及与背板相对设置的振膜,振膜与背板之间具有预设间隙,其中:背板面向振膜的一侧具有凸出部;振膜具有附加材料层,附加材料层于振膜上限定有加强区域,沿振膜的振动方向,凸出部于振膜上的正投影落于加强区域内;并且,沿振膜的振动方向,凸出部于振膜上的正投影与附加材料层不重叠。与现有技术相比,本发明通过在振膜添加附加材料层,附加材料层位于振膜的接触点的外围,从而减少振膜在被迫接触时的局部弯曲和在接触点周围的变形,弯曲的减少降低了振膜在接触点所经历的最大应力,从而提高机械鲁棒性,并降低了裂纹形成的可能性。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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