北京
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国家知识产权局信息显示，广州增芯科技有限公司取得一项名为“去胶机台”的专利，授权公告号CN224581805U，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种去胶机台，其中，加载互锁室与传输腔体之间具有在传输晶圆时打开的第一开关门；供气主路中第一路段的输入端通入惰性气体，第一路段的输出端连通限流部的输入端，限流部的输出端连通第二路段的输入端，第二路段的输出端将惰性气体通入传输腔体内，第二路段的气体流量小于第一路段的气体流量；供气旁路的输入端与第一路段连通，供气旁路的输出端位于加载真空室和传输腔体之间，供气旁路的输出端吹出朝向传输腔体的惰性气体，可以在加载互锁室和传输腔体之间形成气帘，供气旁路的气体流量与第一路段的气体流量相同；真空泵通过第一排气阀连接至传输腔体。从而本实用新型的去胶机台改善了加载互锁室的颗粒异常现象。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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