北京
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国家知识产权局信息显示，叁砖科技（南京）有限公司申请一项名为“一种具有可变差异化供应能力的气体分配装置”的专利，公开号CN122484718A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本发明公开了一种气体分配装置，涉及半导体制造设备领域。该装置通过可调式阻隔结构改变差异化供气的管路分配。具体地，装置包括位于内侧的第一盘体和位于其外侧的第一环形空间，第一盘体外壁设有多个供气通道入口，第一阻隔套件包含阻隔部件及具有两个安装位置的安装部，通过将阻隔部件选择性地安装于不同位置，可改变第一环形空间被分隔后形成的两个子腔室各自所连通的供气通道数量配比，从而动态调整分别通往反应腔室径向内侧区域和径向外围区域的两路气体的供应能力。本发明突破了仅靠调节气体本身参数来改变径向供气差异化程度的局限，实现了从结构层面对差异化供应能力的灵活调节，使装置能够更精准地适配不同的工艺条件和沉积均匀性要求，显著拓宽了工艺窗口并提升了工艺控制能力。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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