北京
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国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“致密陶瓷涂层的固态沉积”的专利，公开号CN122497775A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，使用冷喷涂沉积工艺来将陶瓷涂层沉积到用于处理腔室的腔室部件的至少一个表面上。该冷喷涂沉积工艺推进陶瓷的纳米颗粒的团聚物，并且将该陶瓷的团聚纳米颗粒沉积到该至少一个表面上以形成此陶瓷涂层，而不使这些颗粒经历相变。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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