北京
国家知识产权局信息显示，四川微著科技有限公司申请一项名为“应力隔离的MEMS加速度计及制作方法”的专利，公开号CN122468998A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本发明涉及加速度计技术领域，公开了应力隔离的MEMS加速度计及制作方法，通过加速度计的结构优化设计和采用三层全硅工艺，解决了MEMS加速度计的应力影响问题，提高了MEMS加速度的长期可靠性；包括锚点、盖板、至少一个敏感结构和至少一组梳齿结构组成的结构层和用于布线实现向结构层导入电信号的衬底，敏感结构设置有敏感弹性梁、质量块、第一锚点、第一弹性梁、第二锚点、第二弹性梁及应力隔离结构，以所述敏感结构的敏感方向为敏感轴，以敏感轴正交方向的轴为非敏感轴，所述梳齿结构关于应力隔离结构中心呈对称分布在敏感结构处。
天眼查资料显示，四川微著科技有限公司，成立于2022年，位于成都市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本259.266万人民币。通过天眼查大数据分析，四川微著科技有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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