北京
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国家知识产权局信息显示，LPE公司申请一项名为“用于存储多个衬底保持器的存储系统”的专利，公开号CN122458735A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本公开涉及一种适于存储多个衬底保持器（130）的存储系统（100），其中存储系统包括沿着旋转轴线延伸的销（308）、沿着基本上平行于旋转轴线的方向定位的至少两个搁架（110），每个搁架适于支撑至少一个可拆卸壳体（120）。搁架围绕旋转轴线枢转地连接到销，并且被配置成彼此独立地围绕所述旋转轴线旋转。每个可拆卸壳体适于支撑至少一个衬底保持器，衬底保持器适于支撑用于沉积半导体膜的衬底（616），所述可拆卸壳体被配置为可释放地联接到搁架并从搁架抽出。本公开还涉及一种包括所述存储系统（100）的衬底处理平台（602）以及一种包括所述衬底处理平台（602）的反应器组件（600）。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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