石金科技取得石墨舟相关专利，石墨舟可防晶圆绕镀，提升镀膜工艺质效

来源：新浪证券-红岸工作室

7月25日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市石金科技股份有限公司申请一项名为“用于硅基晶圆镀膜的石墨舟”的专利，授权公告号CN120485746B，授权公告日为2026年7月24日。申请公布号为CN120485746A，申请号为CN202510785062.6，申请公布日期为2026年7月24日，申请日期为2025年6月12日，发明人肖杰，专利代理机构北京华艺德嘉知识产权代理有限公司，专利代理师刘娅，分类号C23C16/458、C23C16/50、C23C14/50、H10P72/10。

专利摘要显示，本发明涉及一种用于硅基晶圆镀膜的石墨舟，其包括：石墨舟片，多个所述石墨舟片阵列设置；陶瓷套，设置在相邻的所述石墨舟片之间，用于隔开相邻的石墨舟片；陶瓷杆，穿过所述陶瓷套设置，用于将所述石墨舟片接连为整体。其中，所述石墨舟片包括舟片本体、电极连接部以及与所述舟片本体可拆卸连接的插片，所述电极连接部分别与外部电源的正负极相连接；所述舟片本体上设置多个承载部用于装载硅基晶圆，所述插片对应所述承载部可拆卸连接。本发明能够，有效解决晶圆背面绕镀问题，提升镀膜工艺的稳定性和效率，满足现代微电子工业对高质量薄膜制备的需求。

天眼查数据显示，深圳市石金科技股份有限公司成立日期2005年2月2日，法定代表人李文红，所属行业为专用设备制造业，企业规模为中型，注册资本8383.9999万人民币，实缴资本1190万人民币，注册地址为深圳市宝安区西乡街道龙腾社区汇智研发中心BC座C1801。深圳市石金科技股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息13条，专利信息164条，拥有行政许可12个。

深圳市石金科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种氧化钇基涂层材料、复合载板及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610401789.42026-03-30CN122212218A2026-06-16李梦飞、李文红、韩士伟、侯晨言2一种水平舟发明专利实质审查的生效、公布CN202610273651.02026-03-06CN122180345A2026-06-09尼广超、向建求、祁文杰、李锐、王伟、肖杰、隗柯3一种拆装机构、拆装设备及等离子体增强化学气相沉积设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610220518.92026-02-24CN122147291A2026-06-05韩波、李朋恩、韩士伟、侯晨言、黎茜、李文红4一种用于硅片镀膜的水平石墨舟发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510929068.62025-07-07CN120453207B2025-09-23刘平、肖杰、隗柯、黄旭、尼广超5一种水平石墨舟校舟器发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510807713.72025-06-17CN120319706B2025-08-15肖杰、隗柯、黄旭、刘平、尼广超6用于硅基晶圆镀膜的石墨舟发明专利授权CN202510785062.62025-06-12CN120485746B2026-07-24肖杰7一种切割装置和多线锯设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510750741.X2025-06-06CN120439455A2025-08-08黎茜、韩波、李文红、韩士伟、李朋恩、余骊锦、侯晨言8一种切割装置和多线锯设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510750744.32025-06-06CN120697195A2025-09-26韩波、黎茜、李文红、韩士伟、李朋恩、余骊锦、侯晨言9一种双排横插布局结构石墨舟发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510743606.22025-06-05CN120261361B2025-08-19隗柯、尼广超、肖杰、张泉、黄旭10一种新型的外片拼接石墨舟实用新型授权CN202520798677.82025-04-25CN224154603U2026-04-21隗柯、肖杰、张泉、尼广超、黄旭、向长城11一种无镂空薄片化石墨舟实用新型授权CN202520768876.42025-04-22CN224234146U2026-05-12隗柯、尼广超、肖杰、张泉、黄旭12一种水平石墨舟实用新型授权CN202520749408.22025-04-21CN224139426U2026-04-17肖杰、隗柯、黄旭、刘平、尼广超13一种带固定结构的硅片花篮及其固定方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510294227.X2025-03-13CN119812069B2025-05-13成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光14一种硅片花篮转运设备及其使用方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510264876.52025-03-05CN120109077A2025-06-06成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光15一种硅片花篮烘干设备及其烘干方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510237349.52025-03-02CN119860646A2025-04-22成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光16一种硅片花篮用包装机及其使用方法发明专利授权、公布CN202510237350.82025-03-02CN119911500B2025-10-24成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光17一种包装箱标签贴附装置实用新型授权CN202520253468.52025-02-18CN224104478U2026-04-10成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光18一种花篮齿杆实用新型授权CN202520089588.62025-01-15CN222514893U2025-02-21成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光19一种具备防倾倒功能的硅片花篮发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510033647.22025-01-09CN119446989B2025-05-09成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光20一种石墨舟托发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510033667.X2025-01-09CN119447010B2025-05-27隗柯、黄旭、肖杰、孙海龙21一种具备防滑落结构的硅片花篮发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510007864.42025-01-03CN119419148B2025-05-09成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光22一种间距可调的硅片花篮发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411981372.72024-12-31CN119381307B2025-03-07成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光23一种石墨舟检测工装实用新型授权CN202423204440.72024-12-25CN223500299U2025-10-31段鼎东、黄旭、肖杰、隗柯、汪继勇24一种花篮齿杆去披锋设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411714267.72024-11-27CN119188504B2025-01-24成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光25一种用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411680411.X2024-11-22CN119176280B2025-03-14成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光26一种自动上下料的多工位镭雕设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411526402.52024-10-30CN119159254B2025-07-11成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光27一种具备调节功能的硅片花篮发明专利授权、公布CN202411466748.02024-10-21CN119008476B2024-12-31成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光28一种硅片花篮生产用花篮清洗设备发明专利授权、公布CN202411462471.42024-10-18CN118988909B2025-02-07成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光29花篮注胶后自动去毛刺设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411362229.X2024-09-27CN118848736B2024-12-06成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光30电池片花篮组装机发明专利授权、公布CN202411208607.92024-08-30CN118712114B2024-11-05成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光31一种石墨舟片加工用夹具发明专利授权、公布CN202411165629.12024-08-23CN118664771B2024-11-01韦力楷、陈远鹏、刘章刚、肖金鹏、吴汪兵、李文红32一种碳碳复合材料高温烧结防变形方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202411134032.02024-08-19CN118960405A2024-11-15唐青岗、张亮、邓伟枫、黎心如、徐子云33一种石墨舟工艺点拆卸设备实用新型授权CN202421824795.32024-07-31CN222844024U2025-05-09林俊锐、肖杰、孙海龙、李文红34一种碳纤维保温材料的制备方法及其产品发明专利公布CN202410945552.32024-07-15CN118878343A2024-11-01黎俊秀、周绪成、廖文煜、陈家明、唐青岗、吴金友35一种石墨舟压点机发明专利授权、公布CN202410896887.02024-07-05CN118431127B2024-09-20李文红、黄旭、毛爱民、彭杰、余郦景36一种花篮及石英舟的检测设备发明专利公布CN202410865170.X2024-06-28CN118808140A2024-10-22成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光37一种硅片花篮实用新型授权CN202421520692.82024-06-28CN222734957U2025-04-08成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光38硅片插片花篮定位设备发明专利授权、公布CN202410824371.52024-06-25CN118398540B2024-09-06成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光39硅片生产用移动装置发明专利授权、公布CN202410791751.32024-06-19CN118366905B2024-08-16李文红、成如诗、毛爱民、付浩然、吴峰光40一种调节式硅片花篮实用新型授权CN202421296322.02024-06-07CN221304618U2024-07-09成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光41一种石墨舟卡点更换装置实用新型授权CN202421065041.42024-05-16CN222222302U2024-12-24林俊锐、孙海龙、李文红42一种应用于光伏行业的降面花篮实用新型授权CN202420493609.62024-03-14CN222507567U2025-02-18成如诗、毛爱民、李文红43一种适用于多规格硅片花篮的检测工具实用新型授权CN202420493585.42024-03-14CN222560935U2025-03-04成如诗、毛爱民、李文红44一种用于对硅片花篮的新型检测工具实用新型授权CN202420246025.92024-02-01CN221975972U2024-11-08成如诗、毛爱民、李文红、付浩然、吴峰光、胡专棚45一种硅片清洗载具搬运工具实用新型授权CN202420191089.32024-01-26CN222365569U2025-01-17成如诗、毛爱民、李文红46一种应用于光伏发电的新型切片花篮实用新型授权CN202323438661.62023-12-18CN222088555U2024-11-29成如诗、毛爱民、付浩然47一种用于加工掏料舟片的通用锯料夹具实用新型授权CN202322599046.72023-09-22CN221312733U2024-07-12段鼎东、张泉、刘勇、孙海龙、韦力楷、李文红48一种用于加工石墨舟片的工装夹具实用新型授权CN202322527439.72023-09-15CN221112422U2024-06-11张泉、肖世澳、刘方龙、孙海龙、韦力楷、李文红49一种用于石墨舟片加工的快锁夹具实用新型授权CN202322495649.22023-09-14CN220903793U2024-05-07隗柯、洪坤、孙海龙、韦力楷、李文红50一种用于石墨叶片加工的专用夹具实用新型授权CN202322348720.42023-08-31CN220660021U2024-03-26林俊锐、孙海龙、李文红