国家知识产权局信息显示,罗伯特·博世有限公司申请一项名为“MEMS构件和用于制造MEMS构件的方法”的专利,公开号CN122426703A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本发明涉及一种MEMS构件(1),具有带有正面(2a)和背面(2b)的基底(2),布置在所述基底(2)的所述正面(2a)上的MEMS功能单元(3),布置在所述基底(2)的所述背面(2b)上的用于施加、接收和/或处理所述MEMS功能单元(3)的信号的电气电路单元(4),和穿过所述基底(2)延伸的用于使所述MEMS功能单元(3)与所述电气电路单元(4)电连接的电连接结构(5)。本发明还涉及一种用于制造这样的MEMS构件(1)的方法(100)。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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