北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于多载物台管芯键合的装置和方法”的专利，公开号CN122439469A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，装置和用于操作所述装置的方法，装置至少包括：第一载物台，第一载物台被配置为支撑一个或多个供体管芯；以及第二载物台，第二载物台被配置为支撑一个或多个目标管芯，装置被配置为测量一个或多个供体管芯的位置，并且被配置为测量一个或多个目标管芯的位置，并且通过第一载物台和/或第二载物台的移动来提供一个或多个供体管芯中的至少一个供体管芯与一个或多个目标管芯中的对应的一个目标管芯之间的相对移动，以进行管芯键合。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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