中科飞测申请光学检测系统相关专利，该技术可抑制光学检测中的后向反射杂散光

来源：新浪证券-红岸工作室

7月18日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种抑制杂散光的光学检测系统及检测方法”的专利。申请公布号为CN122409497A，申请号为CN202610472821.8，申请公布日期为2026年7月17日，申请日期为2025年1月17日，发明人刘健鹏、仇志远、张鹏斌、陈鲁，分类号G01N21/01、G01N21/95。

专利摘要显示，本申请提供的抑制杂散光的光学检测系统及检测方法，包括共用一物镜的照明光路和成像光路，沿照明光路传输的照明光束经物镜照射待测晶圆并经待测晶圆反射形成成像光束，该成像光束经物镜沿成像光路传输以用于成像，在照明光路中通过布设光楔使得照明光束以与物镜的光轴的不平行或不重合入射，并在物镜内部的镜片之间发生多次反射产生的后向反射杂散光脱离成像光路，起到了显著抑制后向反射杂散光的作用，以消除物镜内部杂散光对成像的影响。

作为国内半导体量测设备领域的核心领军企业，中科飞测主营高端检测类半导体设备，具备稀缺的全系列自主研发技术壁垒。公司2014年12月31日注册成立，2023年5月19日登陆上海证券交易所，注册及办公地点均位于广东省深圳市。

中科飞测主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，申万行业分类隶属于电子-半导体-半导体设备赛道，同时覆盖中芯国际概念、HBM概念、半导体检测三大热门概念板块。

2025年中科飞测实现营业收入20.53亿元，在26家半导体设备行业样本企业中排名第11，低于行业平均40.12亿元，高于行业中位数13.86亿元，同期行业营收龙头北方华创、中微公司分别录得393.53亿元、123.85亿元；营收结构中检测设备贡献13.64亿元占比66.43%，量测设备贡献6.23亿元占比30.36%，其余业务板块中其他补充类业务、软件分别实现5335.18万元、1262.64万元，占比分别为2.60%、0.61%。同年公司归母净利润为5865.26万元，行业排名第20位，低于行业平均5.9亿元与行业中位数1.62亿元，同期行业净利润榜首北方华创、次席中微公司分别实现54.09亿元、20.64亿元。

指标类别 核心数据详情 2025年营收 20.53亿元，行业排名11/26 2025年净利润 5865.26万元，行业排名20/26 核心营收占比 检测设备66.43%、量测设备30.36%

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1移相同步监控补偿的干涉仪及控制方法发明专利公布CN202610870545.02026-06-16CN122384663A2026-07-14尉佩、马砚忠、陈鲁2一种标准片及掩膜版发明专利实质审查的生效、公布CN202610653251.22026-05-13CN122267035A2026-06-23吕肃、蒋路翔、陈鲁3一种图像对位方法、装置及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610637168.62026-05-11CN122223079A2026-06-16张鹏斌、韩欣、潘浩、齐鑫、陈鲁4一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610541586.52026-04-23CN122120580A2026-05-29尉佩、马砚忠、陈鲁5产品的检测方法、检测系统和服务器发明专利公布CN202610451627.12026-04-07CN122415314A2026-07-17陈明山、黄有为、陈鲁6一种大尺寸曲晶圆形貌测量装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610429525.X2026-04-02CN122305979A2026-06-30孙晶露、马砚忠、邓忠寒、陈鲁7缓存装置、检测设备及检测工艺发明专利授权CN202610378049.32026-03-26CN121941304B2026-06-19马砚忠、余涛、王见、陈鲁8波场计算方法和装置、散射图像获取方法及可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610361993.82026-03-23CN122259619A2026-06-23温朗枫、马砚忠、张兴民、陈鲁9一种成像装置及成像方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610351971.32026-03-20CN122238387A2026-06-19李炎、王旭、马砚忠、陈鲁10量测设备及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347630.92026-03-20CN122258790A2026-06-23袁明波、王见、马砚忠、陈鲁11量测设备及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347632.82026-03-20CN122258791A2026-06-23陈鲁、袁明波、马砚忠、王见12扫描电子显微镜工作距离的校准方法、扫描电子显微系统和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610203146.92026-02-11CN122108011A2026-05-29邵双方、吕肃、陈鲁13结构参数反演方法、测量设备及计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610203714.52026-02-11CN122170767A2026-06-09李炎、周中正、温朗枫、马砚忠、陈鲁14一种膜厚虚拟量测方法、模型训练方法及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610121250.32026-01-28CN122153281A2026-06-05任泽林、田旷达、庄旭、张嵩、陈鲁15一种根因定位方法、根因定位系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610120891.72026-01-28CN122220959A2026-06-16田旷达、杨思晓、张嵩、陈鲁16开关防护装置及X射线检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610097307.02026-01-23CN122050905A2026-05-15李炎、邢立娜、马砚忠、陈鲁17成像系统以及成像方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610094342.72026-01-23CN122131550A2026-06-02姚本溪、郝柏尊、吕肃、陈鲁18成像方法以及成像系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610098261.42026-01-23CN122131551A2026-06-02吕肃、姚本溪、郝柏尊、陈鲁19扫描电子显微镜对中调节方法及相关装置发明专利公布CN202610043765.62026-01-13CN121839511A2026-04-10吕肃、许涛、陈鲁20一种图像测量系统发明专利公布CN202512060296.72025-12-31CN121837239A2026-04-10刘健鹏、黎广言、张鹏斌、陈鲁21一种图像角度确定方法及图像角度确定装置、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512060747.72025-12-31CN121861000A2026-04-14王启坤、黎广言、张鹏斌、陈鲁22一种光声测量过程中的刀口校准方法发明专利实质审查的生效、公布CN202512058972.72025-12-31CN121917461A2026-04-24马砚忠、戴鹭楠、陈鲁23椭偏测量的修正方法、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512060067.52025-12-31CN121996924A2026-05-08马砚忠、高浩哲、陈鲁24一种聚焦偏移标定方法、系统以及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512036837.22025-12-30CN121720376A2026-03-24吕肃、商橙、陈鲁25膜层测量装置和膜层测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202512044490.62025-12-29CN121720986A2026-03-24孙韬、马砚忠、白园园、陈鲁26旋转补偿器及光学测量系统发明专利实质审查的生效、公布CN202512016763.62025-12-29CN121806272A2026-04-07马砚忠、石海林、陈鲁27一种晶圆字符串检测方法及检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512023232.X2025-12-29CN121903982A2026-04-21董坤玲、杨亭、张鹏斌、陈鲁28膜层测量方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511985534.92025-12-25CN121855402A2026-04-14陈鲁、马砚忠、孙韬、郑麦杰29一种光路装置、光学检测方法以及检测设备发明专利授权CN202511960845.X2025-12-24CN121384814B2026-03-31赵康俊、张龙、黄有为、陈鲁30一种光路装置、光学检测方法以及检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610143618.62025-12-24CN121918317A2026-04-24陈鲁、黄有为、张龙31一种待测点的位置确定方法及光学检测系统、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511958659.22025-12-23CN121746485A2026-03-27胡荣镇、姜菲菲、贺金龙、陈鲁32半导体量测系统和X射线束定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511951765.82025-12-22CN121855427A2026-04-14马砚忠、陈鲁、李炎、白园园、崔建华33一种数据处理方法和相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511930385.62025-12-19CN121708098A2026-03-20陈鲁、黄有为、张龙、陈忠奎、邹丽君、徐雨哲、孙守强34一种AI推理方法、推理系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511925037.X2025-12-18CN121902972A2026-04-21贺金龙、陈基荣、陈鲁35基于深度学习可自动聚焦和像散校正的成像参数校正方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511930080.52025-12-18CN121921188A2026-04-24汪进鸿、吕肃、陈鲁36一种样品运动平台及其控制方法、检测设备发明专利公布CN202511889595.52025-12-12CN121828580A2026-04-10庞芝亮、吕肃、陈鲁37一种坐标校准方法及相关产品发明专利公布CN202511821139.72025-12-04CN121639798A2026-03-10徐雨哲、张龙、黄有为、陈鲁38电子显微镜及其对中偏差校正方法、计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511821888.X2025-12-04CN121748246A2026-03-27朱中道、张志强、吕肃、陈鲁39探测系统性能检测方法、装置、探测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511818006.42025-12-02CN121721070A2026-03-24吕肃、陈子林、陈鲁40探测系统性能检测方法、装置、探测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511807531.62025-12-02CN121721069A2026-03-24陈子林、吕肃、陈鲁41一种芯片标记检测系统及芯片标记检测方法发明专利公布CN202511788740.02025-11-28CN121558754A2026-02-24洪艮超、黄剑、张鹏斌、陈鲁42一种晶圆对准方法和相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511788744.92025-11-28CN121586435A2026-02-27刘欢敏、黄强威、莫云杰、吕肃、陈鲁43一种产品的缺陷检测方法、缺陷检测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511789271.42025-11-28CN121903928A2026-04-21陈基荣、胡荣镇、贺金龙、陈鲁44膜层测量方法、计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511724629.52025-11-21CN121476072A2026-02-06白园园、崔舒涵、马砚忠、陈鲁45光学检测系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511698582.X2025-11-18CN122282766A2026-06-26陈鲁、黄有为、张龙46一种误差补偿修正方法及光学量测设备发明专利公布CN202511685493.12025-11-17CN121677548A2026-03-17胡荣镇、姜菲菲、贺金龙、陈鲁47一种面轮廓度的检测方法、检测设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511658951.22025-11-12CN121521012A2026-02-13姜菲菲、阎鹏飞、钟骏汶、贺金龙、陈鲁48一种光阑及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511646379.82025-11-10CN121348474A2026-01-16李灵佳、吕肃、陈鲁49电子束着陆角度的修正方法、半导体量测系统和存储介质发明专利公布CN202511642473.62025-11-10CN121557922A2026-02-24陈鲁、邵双方、吕肃50一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法发明专利授权CN202511599209.92025-11-04CN121049293B2026-02-24陈鲁、张鹏斌、梁文军、盛浩、杨楠、刘健鹏