江丰芯创、江丰电子申请气体分配盘相关专利，高效清理气盘内腔异物，降本提效省时

来源：新浪证券-红岸工作室

7月18日消息，国家知识产权局信息显示，宁波江丰芯创科技有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种气体分配盘内腔异物清理装置及清理方法”的专利。申请公布号为CN122400224A，申请号为CN202610610178.0，申请公布日期为2026年7月17日，申请日期为2026年5月6日，发明人姚力军、洪晨翔，专利代理机构北京远智汇知识产权代理有限公司，专利代理师邱华敏，分类号B08B5/02、B08B3/02、B08B7/02。

专利摘要显示，本发明涉及一种气体分配盘内腔异物清理装置及清理方法，所述气体分配盘内腔异物清理装置包括气体分配盘、吹气冲水工装、震荡工装和气阀控制部件；所述吹气冲水工装设置在所述气体分配盘顶部的主进气口处；所述震荡工装与所述气体分配盘下表面固定连接；所述气阀控制部件分别与所述吹气冲水工装和所述震荡工装连接，用于独立或同步控制所述吹气冲水工装和所述震荡工装；解决了传统仅依赖人力在所述气体分配盘顶部主进气口的小孔处吹气/冲水，无法将内腔狭长缝隙内的异物吹出的问题，清理时间缩短了60%以上，提高了气体分配盘内腔异物去除效率，还提高了操作规范性和适应性，减少了人力成本。

天眼查数据显示，宁波江丰芯创科技有限公司成立日期2019年7月1日，法定代表人边逸军，所属行业为专用设备制造业，企业规模为中型，注册资本1111.09万人民币，实缴资本1111.09万人民币，注册地址为浙江省余姚市凤山街道兵马司路1608号。宁波江丰芯创科技有限公司共对外投资了0家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息0条，专利信息98条，拥有行政许可1个。

宁波江丰芯创科技有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种喷淋装置发明专利公布CN202610743887.62026-05-27CN122327191A2026-07-03姚力军、宋嘉杰2一种气体分配盘内腔异物清理装置及清理方法发明专利公布CN202610610178.02026-05-06CN122400224A2026-07-17姚力军、洪晨翔3一种半导体喷淋头枪钻孔的检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610567332.02026-04-27CN122217239A2026-06-16姚力军、段振宇4用于气相沉积中分流设备的气体流量检测辅助工装和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610392960.X2026-03-27CN122235687A2026-06-19姚力军、褚杲洋、张林桥5一种气体分配盘的电子束焊接方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610293853.12026-03-11CN121847925A2026-04-14姚力军、谢宇轩6一种用于半导体花洒的进气工装发明专利实质审查的生效、公布CN202610293848.02026-03-11CN121988469A2026-05-08姚力军、毛成城、张林桥7一种气体分配盘的气密性检测方法和装置、设备、介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610235574.X2026-02-27CN121994419A2026-05-08姚力军、俞航科8一种薄壁铝材的氩弧焊焊接方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610235575.42026-02-27CN122058001A2026-05-19姚力军、方钢峰9一种PVD用钽环的清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610213431.92026-02-13CN122039071A2026-05-15姚力军、蔡怀然、汪涛10一种氦检辅助连接装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511981508.92025-12-25CN121762132A2026-03-31姚力军、褚杲洋、边逸军11一种用于薄板类气体分配盘的平面度检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511561518.72025-10-29CN121274878A2026-01-06姚力军、屠炯艳、汪涛12一种用于无挂点工件的阳极氧化工装夹具发明专利实质审查的生效、公布CN202511521673.62025-10-23CN121321144A2026-01-13姚力军、郑逸健、汪涛、黄艾东13实心化气体分配盘和化学气相沉积装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511346915.22025-09-19CN120905653A2025-11-07姚力军、范晓东14一种半导体用三层气体分配盘体的真空扩散焊接方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510973797.12025-07-15CN120644768A2025-09-16姚力军、陈杏东、汪涛15一种气体分配盘及其加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510930706.62025-07-07CN120809618A2025-10-17姚力军、朱锦程、汪涛16一种气体分配盘内微孔的加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510825887.62025-06-19CN120382332A2025-07-29姚力军、韩雪洁、汪涛17一种3003铝合金的热处理方法、气体分配盘发明专利实质审查的生效、公布CN202510825886.12025-06-19CN120624957A2025-09-12姚力军、朱锦程、汪涛18一种6061铝合金的热处理方法、气体分配盘发明专利实质审查的生效、公布CN202510825884.22025-06-19CN120624960A2025-09-12姚力军、朱锦程、汪涛19一种纯镍板材的热处理方法、气体分配盘发明专利实质审查的生效、公布CN202510785153.X2025-06-12CN120555925A2025-08-29姚力军、朱锦程、汪涛20一种纯钛板材的热处理方法、气体分配盘发明专利实质审查的生效、公布CN202510785152.52025-06-12CN120555928A2025-08-29姚力军、朱锦程、汪涛21一种气体分配盘深腔O型密封槽的加工方法与气体分配盘发明专利实质审查的生效、公布CN202510485815.12025-04-17CN120306957A2025-07-15姚力军、许航嘉、汪涛22一种气体分配盘实用新型授权CN202520732844.92025-04-17CN224114236U2026-04-14姚力军、薛洁诺、昝小磊、汪涛23一种用于气体分配盘钻孔的成型刀具及钻孔方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510419541.62025-04-03CN120002054A2025-05-16边逸军、许航嘉、汪涛24一种用于气体分配盘加工的一体成型刀具及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510419540.12025-04-03CN120115737A2025-06-10边逸军、许航嘉、汪涛25一种用于气体分配盘的密封检测辅助工装和密封检测装置实用新型授权CN202520239108.X2025-02-14CN223727349U2025-12-26边逸军、姚力军、陈杏东26一种用于激光器密封面范围测量的辅助工件及抛光装置实用新型授权CN202520193565.X2025-02-07CN223876763U2026-02-06姚力军、褚杲洋、汪涛27一种半导体气体分配盘真空焊接用夹具实用新型授权CN202520193564.52025-02-07CN224026675U2026-03-24姚力军、边逸军、陈杏东28一种平面度≤0.05mm的平面加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510108926.02025-01-23CN119747721A2025-04-04姚力军、陈雪锐、张林桥29一种半导体产品内置加热丝的检验装置实用新型授权CN202520159757.92025-01-23CN223727051U2025-12-26边逸军、姚力军、毛成城、张林桥30一种带有加热管的气体分配装置及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510101589.22025-01-22CN119747828A2025-04-04姚力军、边逸军、周聪杰、张林桥31一种气道密封性的检测工装实用新型授权CN202520150531.22025-01-22CN223727326U2025-12-26姚力军、翁豪杰、昝小磊、汪涛32一种水压检测工装实用新型授权CN202520150538.42025-01-22CN223727327U2025-12-26姚力军、褚杲洋、昝小磊33一种加热丝焊接喷淋盘机加工遮蔽工装实用新型授权CN202520150541.62025-01-22CN223876630U2026-02-06姚力军、褚杲洋、昝小磊34一种通孔密封面的抛光工装及抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510036760.62025-01-09CN119748323A2025-04-04姚力军、陈雪锐、汪涛35一种气体分配盘的表面修复方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510030004.22025-01-08CN119635424A2025-03-18姚力军、蔡怀然、昝小磊、汪涛36一种6061铝合金盘体扩散焊接用夹具实用新型授权CN202422998734.52024-12-05CN223718523U2025-12-26姚力军、陈杏东、昝小磊、汪涛37一种金属清洗液和气体分配盘的清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411692269.02024-11-25CN119530815A2025-02-28边逸军、姚力军、方钢峰38一种电子束焊接的夹具结构实用新型授权CN202422847308.12024-11-21CN223718521U2025-12-26边逸军、姚力军、翁豪杰39一种半导体气体分配盘的焊接方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411538960.32024-10-31CN119387801A2025-02-07姚力军、方钢峰、郭周承40一种焊接辅助工装实用新型授权CN202422302918.32024-09-20CN223250910U2025-08-22姚力军、毛成城、边逸军、昝小磊、汪涛41一种置物架实用新型授权CN202422228388.22024-09-11CN223084783U2025-07-11姚力军、俞超超、昝小磊、汪涛42螺纹紧固件检具及螺纹紧固件检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411032171.22024-07-30CN118857049A2024-10-29姚力军、叶狄、汪涛、昝小磊43螺纹紧固件检具实用新型授权CN202421820785.22024-07-30CN222837494U2025-05-06姚力军、叶狄、汪涛、昝小磊44一种分配盘焊接结构及分配盘装置实用新型授权CN202421820782.92024-07-30CN222935502U2025-06-03姚力军、范晓东、汪涛、昝小磊45一种气体分配盘的加工夹具实用新型授权CN202421790259.62024-07-26CN222831301U2025-05-06姚力军、朱锦程、边逸军、汪涛46一种自定心的定位夹具实用新型授权CN202421775204.82024-07-25CN223251093U2025-08-22姚力军、黄凯炀、汪涛、昝小磊47一种气体分配盘多阶组合孔的制备方法及气体分配盘发明专利公布CN202410934639.02024-07-12CN118893423A2024-11-05姚力军、潘杰、许航嘉、汪涛48一种检验灯箱实用新型授权CN202421434280.22024-06-21CN222938997U2025-06-03姚力军、黄艾东、昝小磊、汪涛、张萍萍49一种用于气体分配盘清洗的吸滤式循环装置及清洗方法发明专利发明专利申请公布后的撤回、公布CN202410745875.82024-06-11CN118595061A2024-09-06姚力军、潘杰、黄艾东、汪涛50一种气体分配盘反向槽加工刀具及加工方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202410703735.42024-06-03CN118268614A2024-07-02姚力军、潘杰、李炀、汪涛

江丰电子是国内半导体高纯溅射靶材领域领先企业，深耕核心材料研发制造，具备突出的技术壁垒与国产替代优势。公司成立于2005年4月14日，于2017年6月15日在深圳证券交易所挂牌上市，注册及办公地址均位于浙江省。

公司主营高纯溅射靶材的研发、生产和销售，同时布局金属材料制造业务，申万行业分类隶属于电子-半导体-半导体材料赛道，核心关联靶材、中芯国际概念、存储概念三大热门板块。

2025年公司实现营业收入46.04亿元，在29家同行业企业中位列第3，仅次于有研新材的95.42亿元与雅克科技的86.11亿元，大幅高于行业18.93亿元的平均水平及10.73亿元的行业中位数。营收结构中，超高纯靶材贡献28.5亿元，占比61.90%；精密零部件实现营收10.84亿元，占比23.54%；其他业务营收6.7亿元，占比14.56%。盈利端，2025年公司归母净利润达4.14亿元，行业排名第2，仅次于雅克科技的10.3亿元，显著高于行业3198.31万元的平均净利润与8532.72万元的行业中位数。

指标类别具体数值行业对标情况2025年营业收入46.04亿元行业排名3/29，头部企业分别为有研新材95.42亿元、雅克科技86.11亿元，行业均值18.93亿元、中位数10.73亿元2025年净利润4.14亿元行业排名2/29，头部企业为雅克科技10.3亿元，行业均值3198.31万元、中位数8532.72万元核心业务营收占比超高纯靶材61.90%、精密零部件23.54%、其他14.56%

宁波江丰电子材料股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1超大规格热电偶保护用钼管的焊接方法及双路气控装置发明专利公布CN202610851895.22026-06-12CN122400725A2026-07-17姚力军、滕召伟、曹欢欢、周友平、李超2一种喷淋装置发明专利公布CN202610743887.62026-05-27CN122327191A2026-07-03姚力军、宋嘉杰3一种溅射完钛靶材的再生方法、钛靶材、钛靶材组件发明专利公布CN202610717473.62026-05-22CN122327215A2026-07-03姚力军、李佳奇、杨广、李铭铭、侯娟华、刘凯彬4一种纯铝的晶粒腐蚀方法发明专利公布CN202610674891.12026-05-15CN122344769A2026-07-07边逸军、姚力军、胡淼锡、周友平、陈勇军5一种钨硅合金靶材的制备方法发明专利公布CN202610666025.82026-05-14CN122322475A2026-07-03边逸军、姚力军、杜浩楠、廖培君、吴东青6一种成分均匀低氧MoSi合金靶材制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610643371.42026-05-11CN122214801A2026-06-16边逸军、姚力军、陈少辉7一种钨镍钽合金靶材及其制备方法发明专利公布CN202610635043.X2026-05-09CN122322477A2026-07-03边逸军、姚力军、宋阳阳、廖培君8一种辉光放电质谱仪检测AlSiCu合金的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610615075.32026-05-07CN122193370A2026-06-12边逸军、姚力军、武威、钟伟华9一种氮化铝喷雾造粒废粉的回收利用方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610610177.62026-05-06CN122301139A2026-06-30边逸军、姚力军、李思剑、江远智、王佳乾10一种气体分配盘内腔异物清理装置及清理方法发明专利公布CN202610610178.02026-05-06CN122400224A2026-07-17姚力军、洪晨翔11一种用于激光粒度分析的粉末样品取样方法及粉末粒径的测试方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610576869.32026-04-28CN122259417A2026-06-23边逸军、姚力军、袁满、黄文杰、陈皓玮12一种提高晶粒组织均匀性的高纯铜靶材制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610576868.92026-04-28CN122279438A2026-06-26边逸军、姚力军、陈勇军、高丽、周友平13一种静电吸盘的钎焊方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610567255.92026-04-27CN122184494A2026-06-12边逸军、姚力军、李建14一种半导体喷淋头枪钻孔的检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610567332.02026-04-27CN122217239A2026-06-16姚力军、段振宇15一种钨钛铝合金靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610567333.52026-04-27CN122274180A2026-06-26边逸军、姚力军、任壮、刘荣、廖培君16一种适用于ICP-OES分析的AgCuZn合金消解方法发明专利公布CN202610557316.32026-04-24CN122385298A2026-07-14边逸军、姚力军、熊秀琴、钟伟华17一种氧化铝靶材的焊接方法发明专利公布CN202610548770.22026-04-23CN122322655A2026-07-03边逸军、姚力军、王勇、杨慧珍、周友平、廖培君18一种氧化铝和不锈钢的复合焊接方法发明专利公布CN202610548778.92026-04-23CN122400702A2026-07-17边逸军、姚力军、王勇、杨慧珍、周友平、廖培君19一种熔盐电解制备高纯钒粉的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610540600.X2026-04-22CN122105533A2026-05-29边逸军、姚力军、孙慧芳、吴东青20用于真空钎焊的装夹结构及铝合金板材的真空钎焊方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610464597.82026-04-09CN122033372A2026-05-15边逸军、姚力军、王勇、杨慧珍、周友平、廖培君21一种陶瓷基板翘曲度的检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610456817.22026-04-08CN122192212A2026-06-12边逸军、姚力军、陈皓玮、孙慧芳22一种陶瓷加热盘内部结构的定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610456818.72026-04-08CN122212770A2026-06-16边逸军、姚力军、王浩、杨慧珍、李爽、王佳乾23一种铜铬镍硅合金背板及其制备方法和靶材组件发明专利实质审查的生效、公布CN202610456819.12026-04-08CN122256894A2026-06-23边逸军、姚力军、周友平、陈勇军、陆彤、孙明亮24一种不锈钢溅射靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610438583.92026-04-03CN122235654A2026-06-19边逸军、姚力军、武钰龙、陈勇军、周友平25一种钨靶材晶粒粒度的检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610392953.X2026-03-27CN122084472A2026-05-26边逸军、姚力军、朱海清26一种制备性能优异的钴锂合金靶材的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610392958.22026-03-27CN122143195A2026-06-05边逸军、姚力军、杜浩楠、廖培君、吴东青、汤婷、刘荣27一种用于靶材组件的背板发明专利实质审查的生效、公布CN202610392947.42026-03-27CN122235652A2026-06-19边逸军、姚力军、魏李镔28一种铝锰合金加热盘体及其制备方法与应用发明专利实质审查的生效、公布CN202610392949.32026-03-27CN122235610A2026-06-19边逸军、姚力军、朱帅、陈勇军29一种镍钴磷合金靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610392945.52026-03-27CN122235651A2026-06-19边逸军、姚力军、孙慧芳、吴东青30一种NiMo合金蒸发料的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610392963.32026-03-27CN122235512A2026-06-19边逸军、姚力军、华东瑜31一种超高含镍靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610392951.02026-03-27CN122235653A2026-06-19边逸军、姚力军、陈勇军、于雪莲、周友平32一种气体分配盘的电子束焊接方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610293853.12026-03-11CN121847925A2026-04-14姚力军、谢宇轩33一种用于半导体花洒的进气工装发明专利实质审查的生效、公布CN202610293848.02026-03-11CN121988469A2026-05-08姚力军、毛成城、张林桥34一种铁氧体材料表面的清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610287953.32026-03-10CN121869762A2026-04-17边逸军、姚力军、华东瑜35一种高性能锰锌铁氧体粉末的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610287963.72026-03-10CN122127142A2026-06-02边逸军、姚力军、华东瑜36一种MoSi靶材EBSD检测的制样方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610266068.72026-03-05CN122084665A2026-05-26边逸军、姚力军、周佳焕37一种五氧化二钒靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610266071.92026-03-05CN122102688A2026-05-29边逸军、姚力军、柳盼、汪焱斌、慕二龙38一种靶材用高纯铬粉的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610266070.42026-03-05CN122147257A2026-06-05边逸军、姚力军、周友平、石钦浩、慕二龙39一种陶瓷覆铜用无氧铜及其真空熔炼方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610266064.92026-03-05CN122147106A2026-06-05边逸军、姚力军、陈勇军、陆彤、茅奇浩、周友平40一种气体分配盘的气密性检测方法和装置、设备、介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610235574.X2026-02-27CN121994419A2026-05-08姚力军、俞航科41一种真空密封设备的密封圈泄漏自检系统和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610235566.52026-02-27CN122016188A2026-05-12姚舜、赵长鑫、姚力军、王予丛、沈栋栋42一种薄壁铝材的氩弧焊焊接方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610235575.42026-02-27CN122058001A2026-05-19姚力军、方钢峰43一种钼硅合金管状靶材及其制备方法和应用发明专利实质审查的生效、公布CN202610235570.12026-02-27CN122081871A2026-05-26边逸军、姚力军、李爽、杨慧珍、廖培君44一种曲面电致变色玻璃的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610229871.32026-02-26CN121948846A2026-05-01姚舜、王峰、姚力军、王予丛、沈栋栋45一种离子缓存型柔性全固态电致变色器件及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610229874.72026-02-26CN121995677A2026-05-08姚舜、张伟丰、姚力军、王予丛、沈栋栋46一种全固态电致变色器件的退火方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610229870.92026-02-26CN122085566A2026-05-26姚舜、李松松、姚力军、王予丛、沈栋栋47电致变色器件的调试方法、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610225117.22026-02-25CN121806344A2026-04-07姚舜、李程程、姚力军、王予丛、沈栋栋48一种用于玻璃退火的立式料架及玻璃退火方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610225114.92026-02-25CN122036176A2026-05-15姚舜、刘璐、姚力军、王予丛、沈栋栋49一种PVD用钽环的清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610213431.92026-02-13CN122039071A2026-05-15姚力军、蔡怀然、汪涛50一种氟化锂靶材与背板的绑定方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610152673.12026-02-03CN121951472A2026-05-01边逸军、姚力军、张雪、吴东青