北京
ViP是维信诺自主研发的无金属掩模版RGB自对位像素化技术，它通过光刻图形化方式定义OLED像素结构，彻底摆脱了FMM（精细金属掩模版）的物理束缚。
上一篇我们聊了ViP 在工艺端的变化（点击回顾）。而工艺的改变，必然也对设备提出新要求。
【ViP官方解答】系列第二篇，我们聚焦设备：ViP 需要半导体级的曝光机吗？蒸镀设备又会有什么变化？
Q1
ViP光刻和芯片光刻一样吗？
提到光刻，很多人会自然联想到芯片制造中的高端光刻设备。其实在显示产业中，光刻早已是一项成熟且广泛应用的制造方式，无论是TFT背板，还是面板中的多道图形化工艺，都离不开光刻。
半导体芯片光刻追求的是纳米级（几纳米到十几纳米）的线宽精度，而ViP做的是微米级像素图形化，OLED像素开口通常在几微米到百微米量级，采用的是显示面板行业成熟的光刻设备，精度需求、设备复杂度和成本都远低于半导体纳米级光刻。可以说，用光刻这套成熟工艺来做微米级像素，属于典型的“降维应用”。
Q2
ViP给蒸镀设备带来的变化？
在FMM蒸镀路线中，蒸镀设备的能力围绕三大核心技术展开：蒸镀技术、真空技术、对位技术，其中高精度对位更是核心难点，尤其是当PPI越来越高、基板尺寸越来越大时，对位精度要求和工艺复杂度也随之提升。
ViP 从原理上绕开了这个难题。它通过光刻图形化定义像素，走的是 “自对位”路线：1.先在基板上预先制作隔离柱结构，“圈定”像素位置；2.完成隔离柱后，进行整面蒸镀，将发光材料均匀沉积在整个基板上；3.通过光刻图形化工艺，选择性地去除不需要的材料，只保留目标像素区域内的发光材料。
（如图，子像素位于2D隔离柱结构之间）
这给蒸镀工艺带来三个根本性变化：一是移除了核心难点，金属掩模版与玻璃基板间的高精度对位的依赖不复存在；二是发力方向更聚焦，蒸镀设备能力可以更聚焦真空控制和蒸镀均匀性两项基础能力；三是对位不再是硬约束，设备的选择空间和协同空间随之打开。
设备是基础，材料是核心。摆脱了 FMM 的束缚，ViP 对 OLED 材料体系又会带来什么影响？需要一套全新的材料吗？
【ViP官方解答】系列之材料篇，下期见。
OLED交流群
MLED交流群
光通信交流群
玻璃基封装交流群
XR交流群
车载显示&照明交流群
出海交流群
林先生微信:XRTIME68
Email：linmb@witdisplay.cn
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
