国家知识产权局信息显示,上海龙瞳智能科技有限公司申请一项名为“一种基于真空浸润液体填充的硅通孔深度量测方法及装置”的专利,公开号CN122360327A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本发明公开了一种基于真空浸润液体填充的硅通孔深度量测方法及装置。该方法包括:S1:对具有硅通孔的待测样品抽真空排出孔内空气,引入液体介质至完全填充硅通孔底部,并恢复至常压;S2:使光源单元射出的光依次经过管镜、物镜后照到待测样品上,其中一部分光射到待测样品表面并反射,另一部分光射到填充有液体介质的硅通孔的底部并反射,并且两部分反射光均进入到光谱采集单元中得到原始干涉光谱信号,对原始干涉光谱信号进行处理得到硅通孔的深度;S3:对测量完成的样品进行脱液处理。该方法通过真空设备排除硅通孔孔内残存气泡并充入测量液体介质,配合成熟的硅通孔光学测量架构,在不破坏样品的情况下实现硅通孔深度的精准量测。
天眼查资料显示,上海龙瞳智能科技有限公司,成立于2023年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本246.9135万人民币。通过天眼查大数据分析,上海龙瞳智能科技有限公司共对外投资了1家企业,财产线索方面有商标信息2条,专利信息7条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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