北京
先抛个反常识。业界共识是，下探到5纳米必须抱紧极紫外光刻机的大腿。可偏偏有团队说，自己规划了一条路线，打算在2029年用全国产方案实现同等效果，而且明确讲明“不依赖EUV光刻机”。
这家公司叫原集微科技。7月9日，他们建成的世界首条8英寸二维半导体中试线正式启用。注意，这条线的头衔很具体——既是国内首条，也是世界首条二维半导体工程化示范工艺线。
时间线往前倒半年，这条线在今年1月就完成了点亮。之后半年，团队没急着做宣传，而是闷头跑完了全部设备的二次调试与工艺优化。现在的状态是：整条产线已经具备完整流片与工程化试制能力，铺开了从材料制备到芯片集成的完整工程化链条。它不再是只能在实验室里小规模试制的平台。
技术底气在哪里？原集微科技董事长包文中给出一个解释。他说，二维材料在原子级厚度上具备天然优势，不需要依赖复杂的鳍式场效应晶体管或环栅结构，就可以让晶体管持续微缩。这话落地成任务，就变成他们下半年的头个里程碑：基于刚通线的8英寸中试平台，先打通等效硅基90纳米的工艺路径。这一步的意义，是要把二维半导体从实验室的“手搓”器件，推进到工业化标准设计。
再往后看那张“五年计划”的时间表。团队锁定的目标是，2029年达成不依赖EUV光刻机的等效5纳米全国产方案。这个表述很克制，没说要取代谁，只讲“等效”。但敢于把时间点公开放出来，说明这条中试线跑出来的数据给了他们下判断的依据。
与产线启用同期发布的，还有一份产品层面的文件：基于8英寸中试线平台的500纳米工艺设计套件0.1版本。他们同步启动了代工流片服务。这份工艺设计套件面向高校与研究所客户，是二维半导体领域首个提供二维工艺设计套件，并能兼容目前主流电子设计自动化工具链的工艺IP。包里装了参数化单元、设计规则检查、版图与原理图一致性检查、寄生参数提取等工具包，给出的是从设计到制造的全流程支撑。
顺带看几个硬指标。这套工艺库的良率大于99.99%，相关报道称各方面指标突破了二维半导体的国际纪录，基本接近硅基同等制程水准。未来规划里，它能够支持10万管级的二维电路设计和晶圆级制造。这些数字放在一起，大致勾勒出这条新工艺线当下的工程能力边界。
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