北京
国家知识产权局信息显示，安徽万瑞冷电科技有限公司取得一项名为“一种半导体加工靶盘温控系统及其低温分配单元”的专利，授权公告号CN224479938U，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种半导体加工靶盘温控系统及其低温分配单元，分配阀箱内设有氮气进气管路、氮气出气管路、低温进气管路和低温回气管路，氮气进气管路两端分别连通氮气进口和冷量出口，氮气出气管路两端分别连接回热进口和氮气出口，氮气进气管路上设有入口加热器且氮气出气管路上设有出口加热器。在分配阀箱内增加单独的氮气进出管路，与现有的低温管路配合设计，在单个系统内实现工作靶盘的低温温控和复温；进一步地，在氮气进出管路上分别设置加热器，入口加热器可将复温介质加热，出口加热器将与工作靶盘完成热交换而变成低温的氮气进一步加热，防止排出的低温氮气导致管路的结霜甚至结冰，最后融化成水，保证设备的运行。
天眼查资料显示，安徽万瑞冷电科技有限公司，成立于2003年，位于合肥市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1782.642万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽万瑞冷电科技有限公司参与招投标项目481次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息315条，此外企业还拥有行政许可18个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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