北京
国家知识产权局信息显示，深圳市诺泰芯装备有限公司申请一项名为“一种均匀弥散型气体加热轨道装置”的专利，公开号CN122340646A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造设备技术领域，特别是一种均匀弥散型气体加热轨道装置，其包括轨道基座、嵌装于基座凹槽内的导气槽、覆盖于导气槽顶部的轨道上盖、贴合于基座背面的加热板、上下两端侧面插入的双热电偶以及对称布置于基座两端面的进气接口；导气槽侧壁设有渐变截面导流筋阵列，轨道上盖开设有多排交错阵列圆形小孔，加热板覆盖面积与导气槽完全匹配。本装置实现了轨道全长温度温差控制在±1℃以内，系统热效率提高，有效避免了芯片位置偏移和热冲击损伤，显著提升了芯片高温测试的精度和设备生产产能。
天眼查资料显示，深圳市诺泰芯装备有限公司，成立于2019年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本6600万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市诺泰芯装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目31次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息135条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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