北京
国家知识产权局信息显示，青岛绿色发展研究院有限公司申请一项名为“一种原子层沉积中抑制绕镀的沉积装置和沉积方法”的专利，公开号CN122327188A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本发明涉及一种原子层沉积中抑制绕镀的沉积装置和沉积方法，涉及原子层沉积技术领域，包括：用于放置基底的反应室；用于向反应室输送前驱体的前驱体供给系统；与反应室相连接的抽气系统；环绕基底的边缘设置的局部气流调控单元；局部气流调控单元包括：独立控制的辅助进气环，独立控制的辅助抽气环，配置于基底的边缘的气流传感器；辅助进气环高于基底设置；辅助进气环的出气口朝向与基底的表面平行；辅助抽气环的抽气口朝向基底的边缘。本发明提供的沉积装置，通过设计局部气流调控单元，在基底的边缘区域建立动态可控的局部气流屏障，从而物理阻隔前驱体向非目标区域的扩散，进而抑制绕镀。
天眼查资料显示，青岛绿色发展研究院有限公司，成立于2021年，位于青岛市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2257.57411万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛绿色发展研究院有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目46次，专利信息38条，此外企业还拥有行政许可10个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
