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安集科技申请化学抛光液相关专利,铜抛光液提高去除率、选择比,改善粗糙度防腐

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来源:新浪证券-红岸工作室

7月1日消息,国家知识产权局信息显示,安集微电子科技(上海)股份有限公司申请一项名为“一种化学机械抛光液”的专利。申请公布号为CN122302742A,申请号为CN202411976345.0,申请公布日期为2026年6月30日,申请日期为2024年12月31日,发明人王曦、马健、荆建芬、郑闪闪、李昀、宋凯、杨俊雅、魏佳、张永辉、张然,专利代理机构上海市建纬律师事务所,专利代理师李佳铭、王芳,分类号C09G1/02。

专利摘要显示,本发明公开了一种用于铜抛光的化学机械抛光液,该抛光液包括:研磨颗粒,五元含氮杂环化合物,六元含羰基杂环化合物,氨基酸,氧化剂和水。采用本发明的化学机械抛光液在保持较高的铜去除速率的同时,对钽/氮化钽/二氧化硅等有较高的选择比,并且可以显著改善抛光后铜表面的粗糙度,抑制抛光液对铜表面的腐蚀。

天眼查数据显示,安集微电子科技(上海)股份有限公司成立日期2006年2月7日,法定代表人SHUMIN WANG,所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业,企业规模为中型,注册资本16855.4258万人民币,实缴资本17499.4396万人民币,注册地址为上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区(南区)T6-9幢底层。安集微电子科技(上海)股份有限公司共对外投资了14家企业,参与招投标项目30次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息277条,拥有行政许可113个。

安集微电子科技(上海)股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种带盖量杯实用新型授权CN202423295797.02024-12-31CN223818695U2026-01-23顾灵华、卢春林、朱正兵、陆伟权、门星蕊2一种带盖量杯发明专利公布CN202411980572.02024-12-31CN122298531A2026-06-30顾灵华、卢春林、朱正兵、陆伟权、门星蕊3一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411980173.42024-12-31CN122302747A2026-06-30任飞、马健、荆建芬、李瑾琳、魏佳、王曦、李昀、王红星、宋凯、王轩4一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411980296.82024-12-31CN122302748A2026-06-30刘天奇、周文婷、荆建芬、罗威、王苗苗、姚颖、蔡鑫元、宋凯、杨征、唐浩杰5一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411977279.92024-12-31CN122302744A2026-06-30马健、郑闪闪、荆建芬、姚颖、任飞、周文婷、王博、管欣悦、蔡鑫元、覃小龙6一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411976345.02024-12-31CN122302742A2026-06-30王曦、马健、荆建芬、郑闪闪、李昀、宋凯、杨俊雅、魏佳、张永辉、张然7一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411975785.42024-12-31CN122302741A2026-06-30朱一明、姚颖、荆建芬、陆弘毅、汪国豪、余华海、蔡鑫元、王正、王拓、刘天奇8一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411980016.32024-12-31CN122302746A2026-06-30余华海、姚颖、荆建芬、周文婷、朱一明、戴少英、郑钦中、汪国豪、陆弘毅、杨征9一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411976997.42024-12-31CN122302743A2026-06-30李昀、马健、荆建芬、王红星、李瑾琳、郑闪闪、周文婷、杨俊雅、王乐、蒋文玉10一种氧化铈分散液合成方法和一种超细氧化铈分散液发明专利公布CN202411958518.62024-12-30CN122301245A2026-06-30黄振鹏、尹先升、冯家辉、王博11一种三维管道系统的结构化网格的参数化生成方法、系统、计算机可读存储介质和电子设备发明专利公布CN202411964922.42024-12-30CN122312955A2026-06-30栗冬、黄俊12一种去除氧化铈抛光液中大颗粒的方法和一种氧化铈抛光液发明专利公布CN202411963311.82024-12-30CN122302740A2026-06-30杨磊、尹先升、王振新、马壮、陈宇13一种对可回收晶圆进行化学机械平坦化的工艺方法发明专利公布CN202411966249.82024-12-30CN122299512A2026-06-30徐彦廷、杜铭宇、钱宁开14一种氧化铈磨料颗粒制备方法发明专利公布CN202411959223.02024-12-30CN122302823A2026-06-30尹先升、李节15一种金属电镀组合物及其使用方法发明专利公布CN202411947541.52024-12-27CN122303981A2026-06-30孙鹏、彭洪修、张凯琦16一种氧化铈纳米颗粒的合成方法及一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411930923.72024-12-26CN122276808A2026-06-26刘同君、尹先升、蔡文龙17一种蚀刻组合物发明专利公布CN202411930773.X2024-12-26CN122278480A2026-06-26张文贝、刘兵、吴兵、郭辛煊18一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411923958.82024-12-25CN122278351A2026-06-26王兴平、陈小龙、赵占怡、李守田19一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411926300.22024-12-25CN122278353A2026-06-26马英杰、何华锋、王淑超、李星、李全干、付世龙、钱尼星、王晨20一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411925375.92024-12-25CN122278352A2026-06-26谭明月、王嵩、史经深、顾钦源、吴涛、殷楠、周凯瑞、刘资源、王晨21一种化学机械抛光液及其应用发明专利公布CN202411927904.92024-12-25CN122302739A2026-06-30于峰、王雨春、尹先升、彭诗月22一种硅溶胶颗粒的处理方法与硅溶胶颗粒发明专利公布CN202411905136.72024-12-23CN122254523A2026-06-23丁一伦、尹先升、蔡旭萍、李文克23一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411904607.22024-12-23CN122255882A2026-06-23付伟、王嵩、谭明月、史经深、殷楠、吴涛、周凯瑞、顾钦源、刘资源、王晨24一种金属电镀组合物发明专利公布CN202411839232.62024-12-13CN122215004A2026-06-16陈艳、孟迪、彭洪修25一种反转负电荷氧化铈研磨颗粒的方法及一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411827136.X2024-12-12CN122188529A2026-06-12许晓佳、李守田、陈寅斌、张乐澜26一种金属电镀组合物发明专利公布CN202411791180.X2024-12-06CN122169174A2026-06-09程政、彭洪修、陈艳、郑超杰、孟迪27一种清洗组合物发明专利公布CN202411635496.X2024-11-15CN122038058A2026-05-15许晓佳、李守田、陈寅斌、张乐澜28一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411399313.92024-10-30CN121950186A2026-05-01李星、王晨、何华锋、李全干、付世龙、钱尼星29一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411399179.22024-10-09CN121825414A2026-04-10谭明月、王嵩、史经深、吴涛、周凯瑞、顾钦源、殷楠、刘资源、王晨30一种低温合成α-氧化铝纳米颗粒的方法、一种α-氧化铝纳米颗粒及其用途发明专利公布CN202411362423.82024-09-27CN121735286A2026-03-27崔天露、尹先升、李金波、周振奇31一种制备氢氧化铈分散液的方法及氢氧化铈颗粒分散液发明专利公布CN202411361561.42024-09-27CN121736631A2026-03-27吴亚男、王惠文、徐鹏宇、陈寅斌、李守田32一种化学机械抛光液发明专利公布CN202411361889.62024-09-27CN121736632A2026-03-27安可宾、李守田、王兴平、陈寅斌、牛婷婷33一种拧盖机器人发明专利公布CN202311842442.62023-12-29CN120269543A2025-07-08栗冬、徐正杰34一种化学机械抛光液发明专利公布CN202311840457.92023-12-29CN120272122A2025-07-08李昀、马健、荆建芬、李瑾琳、郑闪闪、王曦、魏佳、宋凯、杨征、杨俊雅35一种化学机械抛光液及其使用方法发明专利公布CN202311838809.72023-12-28CN120272119A2025-07-08李昀、荆建芬、马健、郑闪闪、王曦、李瑾琳、魏佳、杨俊雅、周文婷、姚颖36一种化学机械抛光液发明专利公布CN202311833202.X2023-12-28CN120272117A2025-07-08姚颖、荆建芬、邱欢、汪国豪、陆弘毅、蔡鑫元、朱一明、周文婷、王拓、蒋文玉37一种化学机械抛光液发明专利公布CN202311831485.42023-12-28CN120272115A2025-07-08姚颖、邱欢、荆建芬、陆弘毅、汪国豪、宋凯、唐浩杰、马健、张然、覃小龙38一种化学机械抛光液及其用途发明专利公布CN202311839036.42023-12-28CN120272121A2025-07-08刘天奇、周文婷、荆建芬、蔡鑫元、王苗苗、王正、姚颖、唐浩杰、王拓、张然39一种蚀刻残留物去除组合物发明专利公布CN202311830979.02023-12-28CN120272281A2025-07-08张文贝、刘兵、彭洪修、郭辛煊40一种化学机械抛光液及用途发明专利公布CN202311832368.X2023-12-28CN120272116A2025-07-08周文婷、荆建芬、刘天奇、姚颖、宋凯、王苗苗、蔡鑫元、杨征、王乐、陆弘毅41一种化学机械抛光液及其用途发明专利公布CN202311838988.42023-12-28CN120272120A2025-07-08刘天奇、荆建芬、周文婷、王苗苗、罗威、蔡鑫元、马健、宋凯、李昀、王乐42一种金属电镀组合物及其使用方法发明专利公布CN202311838900.92023-12-28CN120272998A2025-07-08孙鹏、彭洪修、沈梦涵43一种微型可调混液装置及一种对碱性抛光液抛光铜后产生的铜绿清洗的工艺方法发明专利公布CN202311833069.82023-12-28CN120268294A2025-07-08徐彦廷、杜铭宇、钱宁开44一种化学机械抛光液及其使用方法发明专利公布CN202311838702.22023-12-28CN120272118A2025-07-08马健、李昀、荆建芬、王曦、李瑾琳、郑闪闪、魏佳、邱欢、杨俊雅、任飞45一种金属电镀组合物及使用方法发明专利公布CN202311838876.92023-12-28CN121344697A2026-01-16孙鹏、彭洪修、沈梦涵46一种由金属离子修饰的研磨颗粒的制备方法及一种化学机械抛光液发明专利公布CN202311801859.82023-12-26CN120248830A2025-07-04王淑超、王桢炜、杨越海、王晨47一种α-氧化铝纳米颗粒的合成方法、一种α-氧化铝纳米颗粒及其用途发明专利公布CN202311801315.12023-12-26CN120247069A2025-07-04崔天露、尹先升、李金波、周振奇48一种化学机械抛光液发明专利公布CN202311783855.12023-12-22CN120230479A2025-07-01李星、王晨、何华锋、李全干、钱尼星、付世龙49一种化学机械抛光液及其用途发明专利公布CN202311775894.72023-12-22CN120230475A2025-07-01陈寅斌、徐鹏宇、许晓佳、李守田50一种化学机械抛光组合物发明专利公布CN202311775789.32023-12-22CN120230474A2025-07-01王嵩、谭明月、孙沉敏、孙金涛、吴涛、顾钦源、殷楠、王晨

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