北京
国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“用于薄膜沉积设备的气路系统和薄膜沉积设备”的专利，公开号CN122303836A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体制备技术领域，公开一种用于薄膜沉积设备的气路系统，包括：第一进气单元，用于设置于反应腔的顶部，用于向反应腔内输送工艺气体；第一抽气单元，用于设置于反应腔的顶部，且围设于第一进气单元，用于抽取反应腔内的废气；第二抽气单元，用于设置于反应腔的侧壁，且临近加热盘，用于抽取反应腔内的废气；第二进气单元，用于设置于反应腔的侧壁，且位于第二抽气单元的下方，用于向反应腔内输送吹扫气体；这样，能有效改善基材周向的气体流场的均匀性，从而使工艺气体能在基材表面均匀扩散，进而提高镀膜厚度的均匀性。本申请还公开一种薄膜沉积设备。
天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息89条，专利信息668条，此外企业还拥有行政许可69个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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