天通控股、天通精美科技申请钽酸锂键合法相关专利，多工艺协同减少钽酸锂键合片气泡问题

来源：新浪证券-红岸工作室

6月24日消息，国家知识产权局信息显示，天通控股股份有限公司、天通精美科技有限公司申请一项名为“一种减少钽酸锂键合片气泡不良的方法”的专利。申请公布号为CN122270033A，申请号为CN202610737152.2，申请公布日期为2026年6月23日，申请日期为2026年5月27日，发明人徐秋峰、徐耀辉、汪万盾、曹佳辉、朱海瀛，分类号H10N30/072、H10N30/853、H10P34/00、H10P70/00、H10P72/78、H03H3/08、H03H9/02。

专利摘要显示，本发明涉及半导体材料领域，具体提供一种减少钽酸锂键合片气泡不良的方法，步骤如下：a）对键合腔室进行两次抽空处理，使得目标真空度小于1.5e‑3mbar；b）将钽酸锂晶片和衬底片分别真空吸附于键合腔室的上载台与下载台，其中上、下载台的真空吸附压力根据衬底片的材质进行设置；c）使用等离子对钽酸锂晶片和衬底片进行清洗；d）使用等离子对衬底片进行表面活化；e）在钽酸锂晶片和衬底片均为真空吸附状态下，将二者边缘对准进行加压键合，加压至一定压力时解除钽酸锂晶片的真空吸附。通过二次抽空工艺、等离子清洗工艺、真空吸附结合自由贴附键合工艺协同，有效解决了键合过程中的气泡不良问题，提升了键合质量。

天通股份成立于1999年2月10日，于2001年1月18日在上海证券交易所上市，注册地址位于浙江省，办公地址也在浙江省。它是国内领先的电子材料及高端装备制造商，拥有全产业链布局和多项核心技术。

天通股份主营业务为电子材料（包含磁性材料与部品、蓝宝石、压电晶体等晶体材料）以及高端装备（包含晶体材料专用设备、粉体材料专用设备、半导体显示专用设备）的研发、制造和销售。公司所属申万行业为电子 - 电子化学品Ⅱ - 电子化学品Ⅲ，所属概念板块有稀土永磁、固态电池、创投。

2025年，天通股份实现营业收入32.01亿元，在35家同行业公司中排名第6，高于行业平均数19.23亿元和中位数15.04亿元，但远低于第一名西陇科学的73.31亿元和第二名国瓷材料的45.83亿元。其主营业务构成中，电子材料制造收入27.73亿元，占比86.80%；专用装备制造及安装收入2.61亿元，占比8.16%；材料销售及其他收入1.61亿元，占比5.03%。然而，公司当期净利润为 - 1.88亿元，在同行业中排名第35，低于行业平均数1.8亿元和中位数1.23亿元，与第一名鼎龙股份的7.96亿元和第二名安集科技的7.84亿元差距明显。

天通控股股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种减少钽酸锂键合片气泡不良的方法发明专利公布CN202610737152.22026-05-27CN122270033A2026-06-23徐秋峰、徐耀辉、汪万盾、曹佳辉、朱海瀛2一种高腐蚀均匀性且速率可控的钽酸锂晶片腐蚀方法发明专利授权CN202610461242.32026-04-09CN122003108B2026-06-16徐秋峰、孔辉、张瑞超、沈浩、徐耀辉3高功率密度低损耗锰锌铁氧体材料及其制备方法与应用发明专利授权CN202610311987.12026-03-16CN121850634B2026-06-23夏承扬、韩晓平、张志新、张强原、王鸿健4一种宽温低损耗锰锌铁氧体材料及其制备方法与应用发明专利授权CN202610201905.82026-02-12CN121698648B2026-05-22师银来、王鸿健、陈伟、韩晓平、金辉5一种蓝宝石晶片背面粗糙化方法发明专利授权CN202610125025.72026-01-29CN121572102B2026-04-07代文彦、韩斌、郝文娟、鲁雅荣、康森6一种铁硅废弃料再利用方法及铁硅磁粉心发明专利实质审查的生效、公布CN202511961839.62025-12-24CN121416254A2026-01-27郝亚超、李齐余、汪浩、张世宇7一种高品质因素高强韧性镍锌铁氧体及制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511731740.72025-11-24CN121318425A2026-01-13李赟、韩晓平、许晓亮、徐传健、倪佳辉8一种提升大尺寸晶体材料性能的退火方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511518514.02025-10-23CN121344775A2026-01-16郝文娟、鲁雅荣、白小霞、杨诗音、康森9一种高温低损耗高磁导率MnZn铁氧体材料及制备方法发明专利授权CN202511337197.22025-09-18CN120817795B2025-11-21邢冰冰、陈伟、王鸿健、师银来、黄艳锋10一种梯度功能化高性能铁镍磁粉心及制备方法发明专利授权CN202511310069.92025-09-15CN120809412B2025-12-30邢冰冰、刘鑫月、康正航11一种提高钽酸锂晶片键合强度的方法发明专利授权CN202511158350.52025-08-19CN120676849B2025-11-14徐秋峰、徐耀辉、汪万盾、钱耀锋、张忠伟12一种蓝宝石光纤拉丝专用蓝宝石源棒加工方法发明专利授权、公布CN202510937070.82025-07-08CN120422366B2025-10-24郭跃波、鲁雅荣、郝文娟、杨诗音、康森13注塑成型用MnZn铁氧体喂料及制备方法、磁心及制备方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202510931266.62025-07-07CN120413222A2025-08-01周俊杰、马占华、张瑞标、晁文彪、杨静14一种低损耗高叠加铁硅铝磁粉心及制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510860393.12025-06-25CN120356772B2025-08-19吴利强、李齐余、郝亚超、汪浩、刘远15一种蓝宝石晶棒应力检测系统及检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510822498.82025-06-19CN120352427A2025-07-22石天虎、徐伟同、康森、鲁雅荣、郝文娟16一种提高钽酸锂键合片膜厚均匀性的方法发明专利专利实施许可合同备案的生效、变更及注销、授权、实质审查的生效、公布CN202510405863.52025-04-02CN119897756B2025-07-11徐秋峰、徐耀辉、汪万盾、张忠伟、张坚17粉末成型机及其组装方法和测试方法发明专利专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布CN202411995913.12024-12-31CN119772173A2025-04-08黄沈华、潘海秋、蒋伟、马占华、张非凡、范旭晖、张瑞标18一种泡生法生长大尺寸掺钛蓝宝石晶体的方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411621998.72024-11-14CN119121383B2025-06-27康森、李璐、石天虎、鲁雅荣、郝文娟19一种非晶磁粉心的制备方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411517276.72024-10-29CN119028689A2024-11-26刘鑫然、张志20一种大尺寸钽酸锂晶片单面抛光加工固定方法发明专利授权、公布CN202411441937.22024-10-16CN118951898B2024-12-13徐秋峰、孔辉、沈浩、张忠伟、钱煜21一种非晶软磁复合材料及其制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411333443.22024-09-24CN118866496B2025-01-21刘鑫然、张志、张瑞标22一种高频高Bs高直流叠加低损耗锰锌铁氧体及制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411318209.22024-09-20CN118812255B2024-12-10张志新、韩晓平、张强原、夏承扬、李赟23一种高功率密度高电阻率低功耗锰锌铁氧体的制备方法发明专利授权、公布CN202411224026.42024-09-03CN118724579B2024-11-22夏承扬、韩晓平、张志新、张强原、王鸿健24一种高频无线充电用铁氧体及其制备方法发明专利授权、公布CN202411155346.92024-08-22CN118675877B2024-10-22李赟、韩晓平、张怀举、许晓亮、林波25一种蓝宝石晶体生长杂质控制方法及晶体生长用坩埚发明专利授权、公布CN202411092274.82024-08-09CN118621429B2025-02-14康森、徐伟同、石天虎、李璐、郝文娟26一种压电晶体加工方法发明专利授权、公布CN202411075476.12024-08-07CN118578532B2024-10-22徐秋峰、张忠伟、张坚、曹焕、濮思麒27架高电感器（共烧）外观专利授权CN202430466490.92024-07-25CN308787788S2024-08-16朱明、蔡平平、单仁宝28电感器（共烧）外观专利授权CN202430466014.72024-07-25CN308793596S2024-08-20沈萌、蔡平平、单仁宝29一种新型共烧电感器实用新型授权CN202421770479.22024-07-25CN221613654U2024-08-27李远哲、朱明、单仁宝、胡江豪、沈萌30多段式电极组件和共烧电感实用新型授权CN202421768553.72024-07-25CN221613670U2024-08-27胡江豪、朱明、单仁宝、李远哲、沈萌31一种共烧电感的制备方法发明专利公布CN202410997296.22024-07-24CN118782371A2024-10-15单仁宝、蔡平平、陆明、袁兴华、赵文笔32一种双金属氧化物原位包覆的铁硅磁粉心及其制备方法发明专利授权、公布CN202410944104.12024-07-15CN118486520B2024-09-17郝亚超、宗伟、汪浩、李齐余33一种大尺寸超薄钽酸锂晶圆的切割方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410841505.42024-06-27CN118650756A2024-09-17徐秋峰、孔辉、沈浩、汪万盾、钱陈强34一种提拉法长晶装置和方法发明专利授权、公布CN202410558067.02024-05-08CN118127612B2024-07-23张鸿、钱煜、张坚、张忠伟、吴炬豪35一种高磁导率低损耗纳米晶复合磁粉心及其制备方法发明专利专利申请权、专利权的转移、授权、实质审查的生效、公布CN202410341328.32024-03-25CN117936217B2024-05-24荆雪艳、张志、宋岩岩36一种单畴结构高频高工作磁密锰锌软磁铁氧体及制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202410294637.X2024-03-15CN117902891B2024-05-28张志新37一种高磁导率低损耗铁基非晶复合磁粉心及制备方法发明专利专利申请权、专利权的转移、授权、实质审查的生效、公布CN202311840648.52023-12-29CN117497278B2024-03-12刘鑫然、张志、张瑞标38一种基于自动填料的大尺寸蓝宝石晶体生长方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311750306.42023-12-19CN117418313B2024-02-27康森、石天虎、李璐、鲁雅荣、滕斌、郝文娟、梁鑫、杨博39一种调控钽酸锂晶体退火阶段热场温度梯度的方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311716163.52023-12-14CN117403330B2024-03-01张寒贫、张坚、张鸿、陈晓强、徐秋峰、汪万盾、钱煜40一种钽酸锂黑化晶片的退白方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311704617.72023-12-13CN117403326B2024-02-20徐秋峰、孔辉、张鸿、汪万盾、钱煜、张忠伟、沈浩、钱陈强41一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统及控制方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311684257.92023-12-11CN117410211B2024-03-22康森、石天虎、滕斌、徐伟同、徐世宁、鲁雅荣、王晨42一种宽频高阻抗高磁导率锰锌软磁铁氧体及其制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311685603.52023-12-11CN117383924B2024-04-26黄浪、王鸿健、邢冰冰、张晋康、董生玉、魏凌霄43一种晶体与坩埚同向旋转的长晶方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311672479.92023-12-07CN117364225B2024-02-23徐秋峰、徐耀辉、张忠伟、钱煜、沈浩、孔辉44一体成型电感用高频低损耗软磁复合材料及其制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311672030.22023-12-07CN117393307B2024-03-01蒋宇航、李伟健、盖鹏祥、田甜、陈唐继45一种晶圆加工废水原料回收装置及方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202311642432.82023-12-04CN117339255A2024-01-05张伟明、汪万盾、徐秋峰、朱海瀛、钱煜、张忠伟、钱陈强、张鸿46一种防锈的高性能软磁金属粉末及其制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311540443.52023-11-20CN117275927B2024-01-26潘正强、李伟健、邢冰冰47一种键合晶片的单面减薄方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311467975.02023-11-07CN117219502B2024-01-12潘正强、徐耀辉、徐秋峰、张忠伟、沈浩、钱煜、孔辉48一种大尺寸超薄钽酸锂晶片键合方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311339715.52023-10-17CN117096065B2024-01-30徐秋峰、孔辉、汪万盾、钱煜、张忠伟、沈浩、钱陈强49一种钽酸锂键合晶片的减薄方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311330667.32023-10-16CN117066978B2024-01-05孔辉、徐秋峰、沈浩、钱煜、张忠伟、徐耀辉50一种钽酸锂晶体的生长方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202311176957.72023-09-13CN116905087B2023-11-28徐秋峰、张忠伟、钱煜、张鸿、汪万盾、张坚、钱陈强

天眼查数据显示，天通精美科技有限公司成立日期2019年10月17日，法定代表人徐秋峰，所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业，企业规模为小型，注册资本50000万人民币，实缴资本5000万人民币，注册地址为浙江省海宁经济开发区谷水路306号-A18。天通精美科技有限公司共对外投资了0家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息0条，专利信息8条，拥有行政许可10个。

天通精美科技有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种减少钽酸锂键合片气泡不良的方法发明专利公布CN202610737152.22026-05-27CN122270033A2026-06-23徐秋峰、徐耀辉、汪万盾、曹佳辉、朱海瀛2一种高腐蚀均匀性且速率可控的钽酸锂晶片腐蚀方法发明专利授权CN202610461242.32026-04-09CN122003108B2026-06-16徐秋峰、孔辉、张瑞超、沈浩、徐耀辉3自动烘烤箱链条输送装置实用新型授权CN202022046471.X2020-09-17CN213737127U2021-07-20余立振4一种陶瓷指纹按键实用新型专利申请权、专利权的转移、实用新型专利权授予CN201820886303.12018-06-06CN208521296U2019-02-19邹朋、杨燕、李顶雄5一种防掉片清洗架实用新型专利申请权、专利权的转移、实用新型专利权授予CN201820866031.92018-06-06CN208513305U2019-02-19邹朋、许远飞6一种片状物品清洗篮实用新型专利申请权、专利权的转移、实用新型专利权授予CN201820891693.12018-06-06CN208513188U2019-02-19王旭强、耿存江7自动对位的丝网印刷网版系统实用新型专利申请权、专利权的转移、实用新型专利权授予CN201620896165.62016-08-17CN205970343U2017-02-22李明锁、周旭华、邹朋8自清洁网版的丝网印刷系统实用新型专利申请权、专利权的转移、实用新型专利权授予CN201620900936.42016-08-17CN205970333U2017-02-22李明锁、周旭华、邹朋