北京
国家知识产权局信息显示，中芯集成电路（宁波）有限公司申请一项名为“一种MEMS结构的制造方法”的专利，公开号CN122212019A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请涉及一种MEMS结构的制造方法，所述方法包括：提供第一晶圆；在所述第一晶圆的第一表面上沉积形成金属层；以图案化的光刻胶为掩膜，对所述金属层进行各向同性的第一刻蚀，得到图案化的所述金属层；以所述光刻胶为掩膜，对所述第一晶圆的第一表面进行各向异性的第二刻蚀，得到凸起的图案化的标准单元层，其中图案化的所述金属层的横向尺寸小于所述凸起的图案化的标准单元层的横向尺寸。本申请的方法具有为图案化的金属层提供横向尺寸差以进行缓冲，减少金属层键合时熔融金属向器件功能区的流动。
天眼查资料显示，中芯集成电路（宁波）有限公司，成立于2016年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本473304.347718万人民币。通过天眼查大数据分析，中芯集成电路（宁波）有限公司参与招投标项目37次，财产线索方面有商标信息71条，专利信息538条，此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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