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(来源:财闻)
有投资者向万润股份(002643.SZ)提问,在当前半导体材料自主可控的背景下,请问贵司在KrF/ArF等高端光刻胶领域的研发与量产进展如何?目前是否已通过国内主流晶圆厂的客户验证并实现批量供货?
6月15日,公司回答表示,在半导体制造材料方面,公司相关产品主要包括光刻胶单体、光刻胶树脂、光致产酸剂以及半导体制程中清洗剂添加材料等,并已有相关产品实现供应。公司半导体用光刻胶单体、光刻胶树脂、光致产酸剂等产品主要作为上游原料用于下游客户KrF光刻胶、ArF光刻胶研发与生产。
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