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奕斯伟材料、奕斯伟硅片取得清洁装置相关专利,实现刮刀自动清理,提高清理效率

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来源:新浪证券-红岸工作室

6月10日消息,国家知识产权局信息显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司、西安奕斯伟硅片技术有限公司申请一项名为“一种清洁装置及湿式洗涤器”的专利,授权公告号CN224332992U,授权公告日为2026年6月9日。申请号为CN202521453071.7,申请公布日期为2026年6月9日,申请日期为2025年7月11日,发明人谢崇志、贾帅,专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司,专利代理师曹娜,分类号B08B9/043、B01D53/78、B01D53/18、B01D53/14、B01D53/68、B08B13/00。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种清洁装置及湿式洗涤器,属于半导体制造技术领域。包括:安装部,内部设置有圆柱形的容置空间,安装部的内壁上设置有N条螺旋凹槽;刮头,边缘与安装部的内壁滑动连接;杆件,第一端与刮头的第一端面固定连接;驱动件,与杆件的第二端连接;清洁件,包括连接部和N个清洁部,连接部的第一端插入刮头的第二端面并与刮头旋转连接,连接部的第二端分别与N个清洁部的第一端固定连接,清洁部的第二端伸入对应的螺旋凹槽内。本实用新型的技术方案能够实现刮刀的自动清理,有效提高清理效率。

西安奕材于2016年3月16日成立,2025年10月28日在上海证券交易所上市,注册地和办公地均为陕西省西安市。该公司是国内领先的12英寸硅片制造商,具备先进生产工艺和技术研发实力。

西安奕材专注于12英寸硅片的研发、生产和销售,所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体材料,涉及大硅片、芯片概念、半导体等概念板块。

2025年,西安奕材实现营业收入26.49亿元,在行业26家公司中排名第6,高于行业平均数19.89亿元和中位数11.14亿元,但远低于行业第一名有研新材的95.42亿元和第二名雅克科技的86.11亿元。其主营业务中,测试片收入10.42亿元,占比39.33%;抛光片9.84亿元,占比37.15%;外延片6.1亿元,占比23.03%。其中高端测试片4.61亿元,占比17.39%;其他(补充)1315万元,占比0.50%。净利润方面,2025年为 - 7.38亿元,在行业中排名第25,远低于行业第一名雅克科技的10.3亿元和第二名江丰电子的4.14亿元,也低于行业平均数3265.85万元和中位数8178.71万元。

西安奕斯伟材料科技股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1外延片生长方法、外延片生长设备以及外延片发明专利公布CN202610384651.82026-03-26CN122169208A2026-06-09梁鹏欢、张海洋2外延片生产方法以及外延片发明专利公布CN202610384646.72026-03-26CN122169207A2026-06-09梁鹏欢3协同控制体微缺陷的直拉硅单晶生长方法、装置及硅晶圆发明专利实质审查的生效、公布CN202610368132.22026-03-24CN122013300A2026-05-12毛勤虎4一种加料角度调节方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610350636.12026-03-20CN121931593A2026-04-28赵嘉诚5一种拉晶收尾控制方法、装置及计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610346713.62026-03-20CN121931597A2026-04-28杨文武、宁沛娜6单晶生长方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610345729.52026-03-20CN121931595A2026-04-28潘浩、石小磊7一种晶体生长控制方法、装置及单晶硅生长炉发明专利实质审查的生效、公布CN202610346716.X2026-03-20CN121931598A2026-04-28杨文武、宁沛娜8一种研磨定盘及研磨设备、研磨方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347640.22026-03-20CN122008064A2026-05-12章晓东9抛光机、抛光垫检测方法、装置、检测设备、产品及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610345452.62026-03-20CN122008069A2026-05-12杨鑫卓10一种加热系统、方法及单晶硅生长装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610349958.42026-03-20CN122039199A2026-05-15潘浩、王浩、孙洪涛11一种拉制单晶硅棒的方法、系统及晶圆发明专利公布CN202610346714.02026-03-20CN122082099A2026-05-26杨文武、宁沛娜12一种晶圆形貌分类的方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610269906.62026-03-06CN122049540A2026-05-15李彤、兰洵、袁力军、李安杰、张婉婉13一种单晶炉及单晶炉拉晶方法发明专利公布CN202610269904.72026-03-06CN122105602A2026-05-29邹永鑫、郝昭慧、兰洵14一种拉制晶棒的方法以及装置发明专利公布CN202610271370.12026-03-06CN122105603A2026-05-29杨文武、宁沛娜15拉晶方法、装置、系统及单晶硅发明专利公布CN202610271117.62026-03-06CN122105606A2026-05-29蔡媛媛、张波娟、赵恒16半导体晶棒生长工艺的缺陷检测方法、装置及计算设备发明专利公布CN202610270993.72026-03-06CN122108959A2026-05-29蔡媛媛17晶圆参数预测方法、装置及计算设备发明专利公布CN202610272987.52026-03-06CN122153650A2026-06-05田雨欣、兰洵、张婉婉、李安杰、邹永鑫18一种半导体拉晶用石英坩埚的防倾斜支撑装置发明专利公布CN202610248184.62026-03-02CN122082097A2026-05-26龙飞19单晶炉及单晶炉排气管道的清洁方法、装置及介质发明专利公布CN202610161883.72026-02-04CN122105601A2026-05-29彭标、孙洪涛、纪天平、姜辉20一种晶圆清洗缺陷溯源锁定系统及方法发明专利公布CN202610149171.32026-02-03CN122180366A2026-06-09要佳兴、马成琛21晶棒处理设备和晶棒处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610120374.X2026-01-28CN121945472A2026-05-01郭宏雁、黄兆皓22一种实时调节清洗加工参数的清洗系统及方法发明专利公布CN202610108240.62026-01-27CN122161377A2026-06-05默玉海、周铖、陈祖庆23搬运指令生成方法、系统、装置及计算设备发明专利公布CN202610100691.52026-01-26CN122085903A2026-05-26刘洋、魏洋、李昊24排产派工方法及系统、计算机可读存储介质及产品、电子设备发明专利公布CN202610087864.42026-01-22CN122155160A2026-06-05李嘉楠、陈建勇、张建玲、范东方、张钊25硅片刻蚀方法和硅片刻蚀设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610079762.82026-01-21CN121865865A2026-04-14贾志怡26晶圆的处理方法、晶圆组件及半导体晶圆发明专利公布CN202610047548.42026-01-14CN122121551A2026-05-29王文娟、张博、兰洵、车宇航、刘贵浩27控制半导体单晶生长的方法、装置、及晶棒发明专利公布CN202512010297.02025-12-29CN121653837A2026-03-13杨文武、宁沛娜28半导体制造设备,及其尾气处理方法、系统发明专利实质审查的生效、公布CN202512010197.82025-12-29CN121944738A2026-05-01杨文武、宁沛娜29一种硅片缺陷处理方法、表面处理液、硅片及清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202512012667.42025-12-29CN122028669A2026-05-12张申申30拉晶工艺的功率控制方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利公布CN202511996021.82025-12-26CN121675079A2026-03-17杨文武、宁沛娜31绝缘体上硅衬底及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511982090.32025-12-25CN122073993A2026-05-22李娟、兰洵、蒋治国32半导体晶圆及其处理方法和系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511982083.32025-12-25CN122073964A2026-05-22李娟、蒋治国、兰洵33绝缘体上硅衬底及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511982091.82025-12-25CN122073994A2026-05-22李娟、兰洵、蒋治国34双面抛光方法及设备、计算设备、介质及抛光晶圆发明专利实质审查的生效、公布CN202511961424.92025-12-24CN122008066A2026-05-12潘石、刘还平、白强强、王明35一种晶圆的抛光方法以及晶圆发明专利实质审查的生效、公布CN202511956856.02025-12-23CN121941286A2026-04-28贾磊、杨新元、王明36硅片评价方法、制造方法、装置及硅片发明专利公布CN202511938952.22025-12-22CN122094465A2026-05-26袁力军、李安杰、兰洵、张婉婉、李彤37抛光头组件、化学机械抛光系统及晶圆的制备方法发明专利公布CN202511911677.52025-12-17CN121624982A2026-03-10王鹏、许涛、杨启38晶圆检测设备和晶圆检测方法发明专利公布CN202511904874.42025-12-17CN121678673A2026-03-17薛博涛、陈光林、刘玉乾、黄兆皓39单晶硅棒的生长控制方法、装置、介质以及单晶炉发明专利实质审查的生效、公布CN202511905877.X2025-12-17CN121951677A2026-05-01潘浩、崔源进、张鹏举40一种晶圆清洁系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511907326.72025-12-17CN121969052A2026-05-01康建41硅片的切割线痕缺陷检测方法、系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511904614.72025-12-17CN122048788A2026-05-15杨宗辉、陈曦鹏、王黎昱42线切割装置及线切割取样方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511899233.42025-12-16CN121403584A2026-01-27王晋飞43一种电阻率测试装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511897839.42025-12-16CN121917845A2026-04-24贺鹏44处理方法及系统、电子设备、计算机可读存储介质及产品发明专利公布CN202511887022.92025-12-15CN122089632A2026-05-26白夏红、陈建勇、范东方、张钊45清洗设备、清洗方法、清洗装置、控制设备、产品及介质发明专利公布CN202511866027.32025-12-11CN121665982A2026-03-13张树星、陈海龙、夏新超、左斌46一种拉晶装置及拉晶方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511869249.02025-12-11CN121781273A2026-04-03闫龙、张鹏举、吴超、纪天平、李智超47一种边缘缺陷的检测方法、装置、设备、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511869589.32025-12-11CN122016796A2026-05-12周淼48热场调节装置、单晶炉和热场调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511856243.X2025-12-10CN121344772A2026-01-16黄文洋49一种籽晶倾斜检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511855413.22025-12-10CN121366283A2026-01-20彭标、孙洪涛50一种晶棒切割装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511858998.32025-12-10CN121572470A2026-02-27王磊磊、霍慧文、刘士靖、刘倩

天眼查数据显示,西安奕斯伟硅片技术有限公司成立日期2018年2月9日,法定代表人刘还平,所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业,企业规模为中型,注册资本660000万人民币,实缴资本660000万人民币,注册地址为陕西省西安市高新区西沣南路1888号。西安奕斯伟硅片技术有限公司共对外投资了0家企业,参与招投标项目380次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息1075条,拥有行政许可54个。

西安奕斯伟硅片技术有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1外延片生长方法、外延片生长设备以及外延片发明专利公布CN202610384651.82026-03-26CN122169208A2026-06-09梁鹏欢、张海洋2外延片生产方法以及外延片发明专利公布CN202610384646.72026-03-26CN122169207A2026-06-09梁鹏欢3一种研磨定盘及研磨设备、研磨方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347640.22026-03-20CN122008064A2026-05-12章晓东4抛光机、抛光垫检测方法、装置、检测设备、产品及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610345452.62026-03-20CN122008069A2026-05-12杨鑫卓5一种半导体拉晶用石英坩埚的防倾斜支撑装置发明专利公布CN202610248184.62026-03-02CN122082097A2026-05-26龙飞6一种晶圆清洗缺陷溯源锁定系统及方法发明专利公布CN202610149171.32026-02-03CN122180366A2026-06-09要佳兴、马成琛7晶棒处理设备和晶棒处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610120374.X2026-01-28CN121945472A2026-05-01郭宏雁、黄兆皓8搬运指令生成方法、系统、装置及计算设备发明专利公布CN202610100691.52026-01-26CN122085903A2026-05-26刘洋、魏洋、李昊9排产派工方法及系统、计算机可读存储介质及产品、电子设备发明专利公布CN202610087864.42026-01-22CN122155160A2026-06-05李嘉楠、陈建勇、张建玲、范东方、张钊10一种硅片缺陷处理方法、表面处理液、硅片及清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202512012667.42025-12-29CN122028669A2026-05-12张申申11晶圆检测设备和晶圆检测方法发明专利公布CN202511904874.42025-12-17CN121678673A2026-03-17薛博涛、陈光林、刘玉乾、黄兆皓12一种电阻率测试装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511897839.42025-12-16CN121917845A2026-04-24贺鹏13处理方法及系统、电子设备、计算机可读存储介质及产品发明专利公布CN202511887022.92025-12-15CN122089632A2026-05-26白夏红、陈建勇、范东方、张钊14一种拉晶装置及拉晶方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511869249.02025-12-11CN121781273A2026-04-03闫龙、张鹏举、吴超、纪天平、李智超15一种边缘缺陷的检测方法、装置、设备、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511869589.32025-12-11CN122016796A2026-05-12周淼16热场调节装置、单晶炉和热场调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511856243.X2025-12-10CN121344772A2026-01-16黄文洋17一种晶棒切割装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511858998.32025-12-10CN121572470A2026-02-27王磊磊、霍慧文、刘士靖、刘倩18一种拉晶收尾的控制方法及系统发明专利公布CN202511858477.82025-12-10CN121826878A2026-04-10纪天平、彭标、闫龙19一种晶圆的检测方法、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511859289.72025-12-10CN121908854A2026-04-21史铁柱、庞鲁、王龙20半导体设备的检验方法、装置、设备、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511854133.X2025-12-10CN121978104A2026-05-05李康康21缺陷晶圆的拦截方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511842176.62025-12-09CN121969119A2026-05-01程瑜、贺鑫、胡一洲、万珣22硅片研磨的生产系统、控制方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511840651.62025-12-08CN121870626A2026-04-17王琛、张宁轩、黄兆皓23一种晶圆的检测方法、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511840660.52025-12-08CN121925097A2026-04-24史铁柱、庞鲁、王龙24一种外延片边缘形貌补偿型晶圆双面抛光装置及方法发明专利公布CN202511770029.22025-11-28CN121535652A2026-02-17王俊夫25晶圆检测与标识的设备、方法及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511775182.42025-11-28CN121865898A2026-04-14李乐杰、张钊、范东方、陈建勇26一种基于重力自适应限位的晶圆边缘刻蚀装置及方法发明专利公布CN202511761617.X2025-11-27CN121843479A2026-04-10郝宁、程辰辰27一种抛光垫及晶圆抛光方法发明专利公布CN202511766031.22025-11-27CN121821202A2026-04-10王俊夫、柴朝军28硅片线痕检测方法、装置、存储介质及电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511767321.92025-11-27CN121888926A2026-04-17张申申29载具搬运方法、系统、装置及计算设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511764667.32025-11-27CN121925077A2026-04-24李迅、范东方、王贵石、张更30一种具有集成式温度补偿的双面抛光系统及方法发明专利公布CN202511755203.62025-11-26CN121552239A2026-02-24王俊夫31晶圆生产的控制方法、装置、设备、系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511755100.X2025-11-26CN121865897A2026-04-14赵恒、范东方、陈建勇、张钊32确定硅片放置方向的方法、装置、设备及介质发明专利公布CN202511722852.62025-11-21CN121837362A2026-04-10李康康33一种包装袋折袋装置及方法发明专利公布CN202511711385.72025-11-20CN121536561A2026-02-17李毅波、苏建生、韩嘉豪、王奕杰34在双面抛光中抑制晶圆划伤的系统、方法及双面抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511711576.32025-11-20CN121589713A2026-03-03王俊夫35晶棒拉速的优化方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511712015.52025-11-20CN121903418A2026-04-21秦浩、庞鲁、王龙、同嘉锡36一种清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511659712.92025-11-13CN121468400A2026-02-06蔡培锋、周勤学37一种调整双面抛光设备参数的方法、装置和介质发明专利公布CN202511664476.X2025-11-13CN121832444A2026-04-10王俊夫、周勤学、王龙飞、杨轩、马驰38用于检测物体表面缺陷的方法、装置、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511655376.02025-11-12CN121740778A2026-03-27付子成、党志伟39用于抛光载盘的预清洗装置、自适应抛光系统及清洗方法发明专利公布CN202511645965.02025-11-11CN121821244A2026-04-10王俊夫40改善抛光垫平坦度的方法、双面抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511602298.82025-11-04CN121132500A2025-12-16杨轩、柴朝军、马驰、王俊夫、邢东41工艺腔室的判定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511592258.X2025-11-03CN121443034A2026-01-30孙毅、韩喜盈42用于抛光垫的检测及清洗装置、方法及抛光设备发明专利公布CN202511551473.52025-10-28CN121670508A2026-03-17马驰、杨轩、王俊夫43校准系统及校准方法发明专利公布CN202511515728.22025-10-22CN121666003A2026-03-13杨舒乐44硅片处理装置及方法发明专利公布CN202511499502.82025-10-20CN121665970A2026-03-13郭宏雁、郝胤祚、马成琛、冯智、赵栋、贾晓东45研磨盘的平坦度测量装置及研磨盘的平坦度测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511479663.02025-10-16CN121083517A2025-12-09樊明溪、孙介楠、李龙、张鑫46一种硅片加工方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511480666.62025-10-16CN121310863A2026-01-09蔡培锋、周勤学47砂轮修整设备、砂轮修整方法、装置、设备、产品及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511418705.X2025-09-30CN121104902A2025-12-12朱海海48抛光垫清洗装置及抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511425890.52025-09-30CN121267779A2026-01-06王俊夫、马驰、杨轩49一种硅片缺陷检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511418677.12025-09-30CN121358253A2026-01-16史铁柱、庞鲁、王龙、贺鹏、原宇乐50晶圆的金属水平检测方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511426097.72025-09-30CN121510933A2026-02-10高坤、林可、李康康

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