北京
国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“成像系统以及成像方法”的专利，公开号CN122131550A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体量测技术领域，尤其涉及一种成像系统以及成像方法，成像系统包括：分光元件、调焦元件、第一探测器以及第二探测器，所述分光元件用于将样品的标记区域发出的信号光分光为第一成像光和第二成像光，并引导所述第一成像光进入所述第一探测器，以及引导所述第二成像光进入所述第二探测器，所述调焦元件设于所述第二成像光的传输光路中；其中，所述标记区域包括当前层标记和前层标记，所述第一探测器对当前层标记和前层标记中的一者清晰成像的同时，所述调焦元件满足所述第二探测器对当前层标记和前层标记中的另一者清晰成像。本发明至少有利于实现高精度且快速的套刻测量。
天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本35016.3237万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目291次，财产线索方面有商标信息292条，专利信息1119条，此外企业还拥有行政许可40个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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