北京
国家知识产权局信息显示，山东翰亚网络科技有限公司申请一项名为“基于半导体器件生产的感应耦合等离子体刻蚀机及方法”的专利，公开号CN122117739A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体刻蚀技术领域，具体公开了基于半导体器件生产的感应耦合等离子体刻蚀机及方法，包括底座和第二连接座，底座的顶部中心处固定设有第一连接座，第一连接座的顶部固定设有第一电极，第一电极的顶部固定设有用于对半导体器件进行固定的静电吸盘，第二连接座的底部固定设有第二电极，本发明通过物理约束限制等离子体在半导体边缘的非预期扩散，补偿边缘区域的等离子体密度衰减，从而实现半导体器件径向刻蚀速率的均匀分布，相较于传统通过聚焦环或边缘屏蔽环不仅能从靠近半导体器件的边缘处对等离子体进行阻挡限制，能够从第一电极和第二电极之间的空间限制等离子体的扩散，从而进一步提高半导体器件刻蚀效果。
天眼查资料显示，山东翰亚网络科技有限公司，成立于2011年，位于济南市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本501万人民币。通过天眼查大数据分析，山东翰亚网络科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目302次，专利信息5条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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