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哈喽,今天小李又来唠点国际事。
站在湖北潜江的黄色灯光洁净车间里,第一次看到了价值近 3 亿元的 DUV 光刻机。
这家工厂占地 140 亩,建筑面积 1.2 万平方米,今年 3 月 20 日正式投产,是国内第一条高端 ArF 浸没式光刻胶原产线。
而今天我们不想聊光刻机,只聊聊藏在工业链更上游,被称为 “芯片隐形心脏” 的光刻胶。
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潜江造国产高端光刻胶
光刻胶究竟是什么?简单说,它就是工业领域的 “魔法药水”。
在芯片制造流程中,它会被均匀涂在硅片上,经特定波长光线照射后发生化学反应,精准把电路图案转移到硅片上,没有它,再先进的芯片设计都无法落地。
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依照使用场景,光刻胶分成三大类:PCB 光刻胶、显示面板光刻胶和半导体光刻胶。前两类门槛较低,早就实现了国产化。
唯独半导体光刻胶,是不折不扣的技术高地。根据光源波长不同,它又分为 g 线、i 线、KrF、ArF 和 EUV 光刻胶,波长越小,生产要求越高。
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目前国内能买到的最先进光刻机是 DUV 机型,它用到的 ArF 浸没式光刻胶,是当前最顶尖的半导体光刻胶之一,配合多重曝光技术最高可支持 7nm 制程芯片生产,也是这家潜江工厂的主打产品。
在过去很长一段时间里,全球高端光刻胶市场几乎被日本企业瓜分:东京应化、JSR、住友化学等公司占据了 80% 以上的份额。
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哪怕是半导体工业发达的韩国,也曾被光刻胶卡到动弹不得。
2019 年日韩贸易战爆发,日本限制光刻胶等半导体材料出口韩国,三星、SK 海力士的高端产线直接减产,韩国花了十几年才建立的半导体产能一度陷入停滞。
落后就要受制于人,这句放在光刻胶领域同样适用。直到 2025 年,这种局面才终于被打破。
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要造出顶尖的 ArF 浸没式光刻胶,难度远超想象。现场工程师告诉我,国产研发主要卡三个环节:
第一个是原材料,国内没有成熟的配套体系,很多材料都需要定制化开发。
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第二个是纯度,光刻胶生产流程长、工序多,对杂质控制要求严苛,金属杂质含量必须控制在十亿分之一级别,部分关键金属颗粒甚至要达到万亿分之一,稍有不慎整批产品就会报废。
第三个是下游客户配合度,光刻胶在芯片生产里用量少、辨识度不高,像炒菜用的盐,过去国产厂商很难获得头部晶圆厂的测试机会,毕竟买成熟的海外产品更稳妥。
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2018 年贸易战彻底改变了行业生态。当 “卡脖子” 成为悬在所有科技企业头上的利剑,哪怕是用量再小的材料,都不容有失。
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越来越多的晶圆厂主动找上国内厂商做配套,这给了鼎龙股份这样的企业千载难逢的机会。
从摸索到量产,鼎龙股份用了数年时间。这条潜江产线不仅填补了国内空白,更让中国终于有了能和国际巨头同台竞技的光刻胶产品。
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有人说研发没什么弯道超车,就是一关关闯过去。这话放在国产光刻胶身上再合适不过:你造一道壁垒,我们就打破一道;你卡一次脖子,我们就攒一次劲。从潜江这条产线开始,属于中国半导体光刻胶的时代,已经拉开序幕。
至于大家关心的国产 DUV 光刻机,相关调研和对接已经在推进,估计最快一年、最晚两年就能和大家见面。
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