上海
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2026年5月22日，科创半导体设备ETF华泰柏瑞(588710.SH)收跌0.82%，成交8.71亿元。净流入1.54亿元（净申购份额*单位净值），居可比基金首位。
拉长时间看，该基金连续3天资金净流入，合计吸金6.94亿元，居可比基金前二。
资金流入也助力了份额的提升，该基金最新份额较前一日增加5800.00万份，突破10.20亿份，创历史新高。与此同时，该基金最新规模突破27.00亿元，创历史新高。
科创半导体设备ETF华泰柏瑞(588710.SH)，场外联接(A：024974；C：024975)。
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