北京
国家知识产权局信息显示，镇江市德利克真空设备科技有限公司取得一项名为“一种基于磁控溅射离子源的基材清洗装置”的专利，授权公告号CN224258749U，申请日期为2025年5月。
专利摘要显示，本实用新型公开一种基于磁控溅射离子源的基材清洗装置，包括基板，基板的正面设有供气组件，背面设有电场组件和磁场组件；供气组件包括多个气嘴，且多个气嘴沿是供气组件的长度方向间隔布设，朝向基材持续提供作为工艺气体的氩气；电场组件设置于基板背面中部，形成强电场，使得氩气在电场中被电离，产生氩离子和自由电子，并在电场作用下加速向待清洗基材表面运动，形成高能离子束；磁场组件位于基板背面，并沿长度方向连续布设，与电场组件形成的电场垂直，形成电磁耦合环境；磁场对电子的运动轨迹产生约束，延长电子在等离子体中的运动路径，同时对氩离子的运动轨迹进行调控，使电子更集中地轰击待清洗基材表面。
天眼查资料显示，镇江市德利克真空设备科技有限公司，成立于2010年，位于镇江市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2300万人民币。通过天眼查大数据分析，镇江市德利克真空设备科技有限公司参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息93条，此外企业还拥有行政许可17个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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