北京
国家知识产权局信息显示，德国艾托特克有限两合公司申请一项名为“用于平面衬底的非浸入式湿化学处理的设备、用于固持衬底的装置及用于输送衬底的系统”的专利，公开号CN122055485A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，一种用于在用于平面衬底(2)的非浸入式湿化学处理的设备中固持所述衬底(2)的装置包括：支撑结构(4)，其包括用于接合支撑件以便将所述支撑结构(4)固持在所述设备中的至少一个部分(5a、5b、6)；及至少一个夹紧装置(10)，其由所述支撑结构(4)支撑，用于将所述衬底(2)固持在平面(3)中。所述至少一个夹紧装置(10)包括至少一系列侧向推进的突出部(12a到12s)，所述至少一系列侧向推进的突出部(12a到12s)用于在位于所述平面(3)中的衬底(2)的上边缘近端接合所述衬底(2)的主表面。所述装置进一步包括：至少一个内导流部分(21)，其具有面向外的表面，所述面向外的表面相对于所述平面(3)面向外且包括可润湿表面区段(25)，通过将液体流引导到所述可润湿表面区段(25)上可润湿所述可润湿表面区段(25)；及至少一个外导流部分(23)，其具有面向内的表面，其中所述面向内的表面相对于所述平面(3)面向内且包括倾斜表面区段(35)。所述外导流部分(23)的所述面向内的表面与所述内导流部分(21)的所述面向外的表面间隔开，以使得被引导到所述可润湿表面区段(25)上的液体能够流动到所述外导流部分(23)的所述面向内的表面的至少所述倾斜区段(35)上。从看向所述平面(3)所见，所述内导流部分(21)的边缘(29)在所述一系列突出部(12a到12s)近端且至少主要在侧向方向上延伸，所述边缘(29)位于所述一系列突出部(12a到12s)与所述可润湿表面区段(25)之间，且所述外导流(23)部分的所述面向内的表面的所述倾斜区段(35)在与所述侧向方向(x)横向且朝向所述一系列突出部(12a到12s)的方向(‑z)上朝向所述平面(3)倾斜。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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