来源:问董秘
投资者提问:
公司在磁控溅射、真空蒸发、ALD/PECVD、多弧离子镀四大核心技术路线上,各自的技术壁垒和竞争优势是什么?
董秘回答(汇成真空SZ301392):
尊敬的投资者,您好。磁控溅射壁垒在磁路均匀性、高纯靶材、等离子体与膜厚应力精准控制;真空蒸发卡在高精度膜系控厚、蒸镀速率稳定、多层光学膜折射率匹配;ALD/PECVD 难点是原子级厚度均匀、腔体洁净、制程参数微控与低缺陷沉积;多弧离子镀核心壁垒在弧斑控制、大颗粒粉尘抑制、膜层致密性与附着力一致性。目前公司产品涵盖了蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等主要真空镀膜技术及其组合应用,感谢您的提问。
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