华海清科取得晶圆边缘检测相关专利，集成多功能检测晶圆边缘，提升测量准确性

来源：新浪证券-红岸工作室

5月8日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“用于晶圆边缘抛光的检测方法、装置及设备”的专利，授权公告号CN119748254B，授权公告日为2026年5月5日。申请公布号为CN119748254A，申请号为CN202411814618.1，申请公布日期为2026年5月5日，申请日期为2024年12月11日，发明人路新春、郭垒、杨娴、杨志冰，分类号B24B9/06、B24B49/04、H10P74/20、H10P72/50。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于晶圆边缘抛光的检测方法、装置及设备。该检测方法包括对待检测晶圆进行定位；获取定位后的待检测晶圆的平面部形貌数据和曲面部形貌数据；对平面部形貌数据和曲面部形貌数据分别进行曲线拟合，得到第一曲线和第二曲线；对曲线进行特征提取及特征点匹配；基于匹配的特征点对，计算两条曲线之间的单应性变换矩阵；确定所述第一曲线和第二曲线的重合区域；确认最佳缝合点；根据最佳缝合点将第一曲线和第二曲线进行对接，将对接后的曲线作为待检测晶圆的边缘检测曲线。通过晶圆的寻心定位，高度补偿，曲线拟合和形貌观测等功能的集成一体化设计，确保了多参数测量的数据同步性，增强了测量结果的准确性和可靠性。

华海清科成立于2013年4月10日，于2022年6月8日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为天津市。它是国内半导体CMP设备龙头企业，具备核心技术与全产业链优势，投资价值凸显。

华海清科主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及增持回购、中盘股、专精特新等概念板块。

2025年，华海清科营业收入达46.48亿元，在25家公司中排名第7，高于行业平均数41.44亿元和中位数14.26亿元，但与北方华创393.53亿元、中微公司123.85亿元有差距。主营业务中，半导体装备40.54亿元占比87.22%，半导体服务5.94亿元占比12.78%。净利润方面，2025年为10.83亿元，行业排名第5，高于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元，不过与北方华创54.09亿元、中微公司20.64亿元仍有差距。

华海清科股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1晶圆翻转装置、晶圆翻转方法及晶圆处理设备发明专利公布CN202610432475.02026-04-03CN121969113A2026-05-01南奇童、张龙华、张鑫、申兵兵2晶圆清洗装置及晶圆清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610230602.92026-02-27CN121752004A2026-03-27王同庆、陈贺、刘颖、曹自立、李长坤3晶圆化学机械抛光设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610203298.92026-02-12CN121870631A2026-04-17路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆、赵德文4化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利公布CN202610204916.12026-02-12CN121946355A2026-05-01路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆5化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利公布CN202610198479.72026-02-11CN121893158A2026-04-21路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆6一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利公布CN202610188222.32026-02-10CN121893155A2026-04-21刘晟桤、李俊卿、李长坤、王科7一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利公布CN202610182595.X2026-02-09CN121893154A2026-04-21霍恩彬、李长坤、李俊卿、申兵兵、王剑8一种具有小体积气液分离箱的晶圆处理设备及晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610049289.92026-01-15CN121513539A2026-02-13陈贺、姚福聪、曹自立、李长坤9抛光方法、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610009656.22026-01-06CN121608055A2026-03-06王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科10抛光装置和晶圆加工设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610009659.62026-01-06CN121848277A2026-04-14路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤11晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511925734.52025-12-19CN121729009A2026-03-24路新春、王同庆、赵德文、刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成12晶圆边缘动态修整方法和晶圆修边装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511925732.62025-12-19CN121848541A2026-04-14赵德文、高亚磊、李森、刘远航、欧阳亮13晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利公布CN202511923156.12025-12-19CN121925066A2026-04-24刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成、赵德文、路新春14晶圆边缘修整方法、边缘修整装置和加工设备发明专利公布CN202511830466.92025-12-06CN121649858A2026-03-13欧阳亮、高亚磊、王玉、檀广节15一种用于化学机械抛光的承载头和抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830467.32025-12-06CN121715974A2026-03-24王宇、刘宏伟、孟松林、金军、张洪蛟16一种晶圆处理设备、空气洁净度控制方法和空气清洁系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830465.42025-12-06CN121756222A2026-03-31王同庆、孙传恽、张丛17一种用于电化学机械抛光的承载头和抛光装置发明专利公布CN202511789495.52025-12-01CN121821233A2026-04-10刘二朋、王浩、王国栋、许振杰18一种修整盘装卸装置、智能维护系统和方法发明专利公布CN202511718719.32025-11-21CN121670521A2026-03-17王科、李丹、陈映松、王怀锋、成鹏19一种晶圆抛光方法、抛光单元和处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511696760.52025-11-19CN121447528A2026-02-03路新春、江鹏、周斌、谭锐20一种化学机械抛光装置、抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511680481.X2025-11-17CN121608057A2026-03-06曹自立、李长坤21一种晶圆后处理装置、抛光设备和抛光方法发明专利公布CN202511680510.22025-11-17CN121693049A2026-03-17曹自立、李长坤22晶圆划切设备、晶圆加工方法及控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511649635.92025-11-12CN121340478A2026-01-16刘远航、鲍伟成、朱林、赵德文、路新春23一种弹性膜、承载头、化学机械抛光设备和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511629574.X2025-11-08CN121179339A2025-12-23王宇、张浩、左少杰、金军、张洪蛟24一种晶圆膜厚测量方法、装置和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511553470.52025-10-29CN121104883A2025-12-12窦华成、田芳馨、王科25抛光装置和晶圆加工设备发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556082.22025-10-29CN121132497A2025-12-16路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤26抛光方法、电子设备及存储介质发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556080.32025-10-29CN121132496A2025-12-16王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科27一种方形承载头和化学机械抛光系统发明专利授权CN202511524648.32025-10-24CN121004541B2026-02-06程子政、孟松林、金军28一种晶圆清洗装置、清洗方法和处理设备发明专利公布CN202511361499.32025-09-23CN121018398A2025-11-28张丰达、王剑、李长坤29一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270350.42025-09-08CN120862556A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟30一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270348.72025-09-08CN120862555A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟31一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头发明专利公布CN202511270349.12025-09-08CN120985523A2025-11-21刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟32晶圆刷洗方法、装置、电子设备和计算机存储介质发明专利公布CN202511127407.52025-08-13CN120977917A2025-11-18路新春、李长坤、曹自立、王科33竖直抛光装置及竖直抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511039838.62025-07-28CN120680396A2025-09-23辛宇航、郭垒、周朝龙34一种晶圆夹持装置、处理装置和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511021830.72025-07-24CN120734904A2025-10-03陈贺、曹自立、李灯、李长坤35一种用于晶圆贴膜的移动装置和晶圆贴膜设备发明专利公布CN202511001321.82025-07-21CN121969092A2026-05-01李森、刘志动、付永旭、刘远航、赵德文36一种抛光液供应装置、化学机械抛光单元和晶圆处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510962318.62025-07-14CN120791640A2025-10-17谭锐、孙少雪、徐海洋、王科37卷带替换方法、卷带装置、晶圆边缘抛光方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510964002.02025-07-14CN120841269A2025-10-28田鑫涛、周朝龙、张子彤、辛宇航、郭垒38用于电涡流传感器的大量程标定方法、测量方法及设备发明专利公布CN202510925240.02025-07-05CN120962533A2025-11-18王超、路新春、田芳馨39一种晶圆传输装置和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510914634.62025-07-03CN120715804A2025-09-30路新春、李长坤、王剑、李俊卿、王科40一种晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510914728.32025-07-03CN120715797A2025-09-30路新春、李长坤、王剑、李俊卿、王科41一种晶圆传输装置和具有该传输装置的CMP系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510900113.52025-07-01CN120816419A2025-10-21王剑、李俊卿、李长坤42一种晶圆传输方法发明专利公布CN202510900110.12025-07-01CN120985526A2025-11-21王剑、李俊卿、李长坤43一种晶圆传输单元、清洗装置和处理设备发明专利公布CN202510757567.12025-06-09CN120674375A2025-09-19孙传恽、张海鹏、许振杰、王科、刘晟桤44一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510732613.22025-06-04CN120244826B2025-08-19路新春、南奇童、申兵兵、李长坤、王科45一种晶圆后处理装置、承载单元、翻转方法和处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510732612.82025-06-04CN120637307A2025-09-12路新春、南奇童、申兵兵、李长坤、王科46一种晶圆抛光方法、抛光装置和处理设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510662276.42025-05-22CN120170629B2025-08-19熊伟、张俊杰、王佩佩47一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510647400.X2025-05-20CN120170636B2025-08-19王科、曹自立、李长坤、刘洪旺48一种用于电化学机械抛光的弹性膜和承载头发明专利实质审查的生效、公布CN202510600887.62025-05-12CN120311287A2025-07-15张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰49一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510600889.52025-05-12CN120134208B2025-08-19张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰50一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511100159.52025-05-12CN120734903A2025-10-03张金鑫、孟松林、王宇、张洪蛟、金军、左少杰

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