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"非常、非常昂贵"——这六个字,是台积电副共同营运长张晓强对阿斯麦最新High-NA EUV光刻机的评价。话不长,分量却足。消息一出,阿斯麦的股价当天直接被打下来,盘中一度重挫高达5.5%,最终以微跌约1%作收。
事情发生在4月22日的台积电2026年北美技术论坛。这本是台积电一年一度对外亮底牌的场合,重头戏是每年为客户端应用推出一款新节点,每两年推出一款面向高负载AI和高性能计算的新节点这套全新路线图。
但张晓强一句"暂时不打算用",把镜头硬生生拉到了那台标价3.5亿欧元、折合人民币近30亿的庞然大物身上。一台机器抵得上两架波音787-8客机,连全球营收最大的晶圆厂都直摇头,那剩下还有谁愿意掏钱?
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阿斯麦的High-NA EUV,行业里把它叫"下一代光刻神器",单台定价高达3.5亿欧元,折合近4亿美元,相较现有量产EUV机型成本实现翻倍。问题在于,这种价格放在商业账本上算不过来。
张晓强在论坛上把话说得很清楚。台积电对于现有的标准数值孔径EUV设备感到满意,其研发团队会继续寻找不依赖High-NA EUV设备来推动技术微缩的方法。直至2029年的全系列规划节点,涵盖A12、A13等核心制程,均不纳入High-NA EUV设备的应用计划。
这背后是一笔实打实的成本账。台积电已将中长期毛利率目标锁定至56%以上,相较于过往50%的基准目标形成显著抬升。
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毛利率数个百分点的波动,将直接转化为每年50亿至100亿美元的利润差额。30亿一台的机器扔进产线,折旧、维护、配套要重新算,再叠加上千道工序的良率风险,谁也不敢轻易点头。
更尴尬的是潜在客户的稀少。这台机器全球累计装机量不过5台左右。三星电子于2025年3月率先安装首台High-NA EUV光刻机用于1.4纳米芯片生产;英特尔则押宝14A工艺,靠它从零设计代工流程。
但英特尔正处于制程重整阶段,多座工厂进度延迟;三星的先进制程良率问题持续受到关注。三家潜在买家里,跑量最大的台积电直接表态五年内不考虑,剩下两家自顾不暇。
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阿斯麦给Low-NA EUV定的产能目标是2026年的产量至少达到60台,并在2027年按客户需求支撑将出货量提升至80台。这条线靠AI带动的存储和逻辑芯片需求撑得住,但High-NA EUV这条新产品线,眼下连验证客户都凑不齐,研发投入要多久才能回本,没人敢拍胸脯。
阿斯麦的另一头,是被堵死的中国大陆市场。
2025年10月底,荷兰把DUV设备的出口管制门槛进一步收紧。新规将DUV设备的出口限制从7纳米收紧至14纳米。ASML的1970i、1980i等主力机型全部被列入管制范围,审批周期也延长至九十天。
再加上美方主导推动的MATCH法案,该提案的具体限制范围已从最尖端的极紫外光刻机延伸至应用广泛的浸润式深紫外光刻设备,连已经卖出去的设备维护服务,都得走合规审查。
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效果立竿见影。第一季度,面向中国的系统销售额占阿斯麦总销售额的比例降至19%,而去年第四季度为36%。韩国占比则从22%升至45%。存储芯片厂商成了新的金主,但中国市场原本贡献的份额,已经被硬生生抹掉将近一半。
这种结构性收缩,不是简单的客户切换。中国大陆是全球最大的芯片消费市场,从成熟制程到高端工艺都有持续的设备引进需求。在正常的商业逻辑下,这本应是阿斯麦最稳定的票仓。政治账压过商业账之后,一个大客户就这么从订单本上消失了。
阿斯麦CEO自己也看得清楚。在公开场合,他指出,假如把中国逼入困境,中国就会完全脱离西方技术,等到中国完成自主研究开发,可能要向我们反向出口了。这话说得直白,但点到了要害。
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更微妙的是供应链的反向卡位。中方稀土新规可能导致阿斯麦出现为期数周的出货延迟。
阿斯麦以及美国应用材料公司所销售的半导体制造机器,尤其依赖稀土,因为这些设备包含极其精密的激光器、磁铁和其他使用稀土元素的部件。一手卖不进中国,一手关键原料的合规审查也卡在中国,这种两头受挤的处境,是阿斯麦过去几十年没遇到过的。
封锁压下来这几年,中国大陆的光刻机产业链没有停下来。
上海微电子的进展跑在最前面。2024年,上海微电子推出的28纳米光刻机良率达到90%。配套环节也在同步推进——北京科益虹源的曝光光源、华卓精科的双工件台、长春光机所的镜头、宁波南大光电的光刻胶,这些过去被认为"只能靠进口"的关键部件,已经在同一条产线里跑通了验证闭环。
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光源这一环更是撕开了一道口子。2025年3月,中国科学院公开了全固态深紫外激光技术的研究成果。这套方案能直接发出193纳米的相干光,和阿斯麦、佳能、尼康用的氟化氩准分子激光路线完全是两套思路。
固态设计的好处很直观——体积更小、能耗更低,对稀有气体的依赖也大幅减少,理论上具备支撑3纳米制程的潜力。
整机层面同样有动作。SMEE公司提交了EUV相关技术专利申请,计划于2026年实现量产,目标直指打破高端光刻机的垄断格局。证券机构的判断也在跟进,中国向全世界宣布将于2026年量产光刻机这个信号,让产业界明显感觉到节奏在变。
这些进展集中在DUV和EUV的不同环节,整体水平和阿斯麦还有明显代差,方向却是明确的。封锁制造出的供给真空,反而把国产链条的整合速度往前推了一大截。从单点突破走向系统集成,这条路一旦走通,市场版图就要重新画。
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光刻机这个行业的逻辑其实很简单——技术再先进,也得有人付钱才能算数。阿斯麦如今面对的,是一个被自己亲手参与塑造的困局。
最贵的机器卖给了买不起的人,最想买的人又被挡在门外。当政治账长期压着商业账走,再硬的技术壁垒也扛不住时间的消磨。等到中国大陆的国产替代真正补上空缺的那一天,阿斯麦丢掉的就不只是几年的订单,而是一个完整产业周期的话语权。
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