北京
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国家知识产权局信息显示，晨杨科技股份有限公司取得一项名为“适用于天车系统的半导体加工设备机柜”的专利，授权公告号CN224198647U，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请公开了一种适用于天车系统的半导体加工设备机柜，包含一底层部、一中层部以及一机箱部。底层部具有一顶部。中层部沿一垂直方向设置于该底层部之上，并且该中层部不覆盖或局部地覆盖该顶部，使该顶部未被覆盖的部分成为一设置平台。机箱部沿该垂直方向设置于中层部之上。在该垂直方向上，机箱部于该顶部的投影，仅局部重迭于该设置平台，使得该设置平台其余部分的上方呈现开放而不被遮挡。本申请设置平台的上方可以被净空，以利垂直方向的晶圆移转。因此，天车系统可应用于设置平台上的晶圆移转，提升晶圆移转效率。此外，天车是垂直移动晶圆至较高处后再进行水平移转，不会干扰机柜周遭的水平动线，有利于操作场所中的动线安排。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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