国家知识产权局信息显示,上海微世半导体有限公司取得一项名为“一种晶圆片输送臂”的专利,授权公告号CN224186270U,申请日期为2025年5月。
专利摘要显示,本实用新型涉及一种晶圆片输送臂,包括:用于无接触水平伸入或者退出化学气相沉积炉的臂体,所述臂体水平布置于所述化学气相沉积炉炉口的轴向后侧,该臂体的前部的上侧形成用于支撑晶圆载运舟的支撑面,该支撑面的形状与所述晶圆载运舟的底面形状适配;用于调节所述臂体姿态的姿态调节机构,所述姿态调节机构与所述臂体连接;用于驱动所述臂体水平伸入或者退出化学气相沉积炉的驱动机构,所述驱动机构与所述姿态调节机构连接,所述驱动机构为电缸或者气缸,其设置在机柜上。本实用新型彻底消除了摩擦颗粒污染,显著提升操作安全性。
天眼查资料显示,上海微世半导体有限公司,成立于2010年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海微世半导体有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息74条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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