北京
国家知识产权局信息显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体（上海）有限公司申请一项名为“一种防溅液晶圆卡盘支撑结构”的专利，公开号CN121969110A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了半导体清洗领域的一种防溅液晶圆卡盘支撑结构，其包括水平旋转基板及四个切向分布的一体式支撑件，支撑件一端设尖角状分流部以引导切向液流绕流，上半部由两个正圆锥部构成V型定位槽，通过圆锥壁与被清洗件倒角面的线或点接触实现支撑与自对中，顶端同轴设有倒圆锥部进行侧向限位。本发明通过流线型一体化设计减小迎流面积，将液滴溅射率由2.1%降至0.21%，有效防止药液交叉污染，同时利用圆锥相切界面将传统面接触优化为线接触，极大降低了颗粒污染风险及毛细吸附效应，增强了高速旋转下的夹持稳固性。
天眼查资料显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本38296.425万人民币。通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目79次，财产线索方面有商标信息74条，专利信息337条，此外企业还拥有行政许可54个。
至微半导体（上海）有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本53144万人民币。通过天眼查大数据分析，至微半导体（上海）有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目36次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息308条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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