高精度旋转平台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术,提供连续旋转的同时保证纳米级分辨率,拥有极高的可拓展性和可集成性。
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1、典型应用
样品检验
精密微组装
光路切换
显微及纳米CT
机器视觉
半导体检测
2、技术特点
高精度、高稳定性
高运动速度
轻量化设计且结构紧凑
支持开环和闭环模式
超高真空兼容性
可提供轴心补偿模块抑制轴心晃动
高可靠性及模块化设计,摩擦单元可替换
满足各种应用场景
3、2D尺寸图
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4、规格参数
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5、适配控制器
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