2025 年全球scanner光刻机市场：EUV 成增长引擎，ASML 持续领跑，出货台积三星intel美光海力士

一、市场概况：整体出货量稳中有升

根据 TechInsights 最新发布的 2025 年全球 WFE（半导体制造设备）扫描仪出货数据显示，2025 年全球扫描仪总出货量达到589 台，保持了稳健的发展态势。从季度趋势来看，市场呈现出明显的周期性波动，2025 年第四季度出货量达到 178 台，成为全年出货高峰，显示出半导体行业年底集中采购的传统特征。

从技术类型分布来看，2025 年市场结构呈现以下特点：

• i-line 扫描仪

  作为成熟制程的主力设备，全年出货 264 台，占比 44.8%

• DUV 扫描仪

  包括 248nm（KrF）和 193nm（ArF）技术，合计出货 277 台，占比 47.0%

  
  

• EUV 扫描仪

  先进制程核心设备，出货 44 台，占比 7.5%

• Hi-NA EUV

  新一代技术设备，开始小规模商用，出货 4 台

  
  

2025 年全球 WFE 扫描仪市场竞争格局依然呈现高度集中的特点，主要厂商表现如下：

1. ASML（荷兰）：以 327 台的出货量占据55.5% 的市场份额，继续保持绝对领先地位。其产品覆盖从 i-line 到 EUV 的全技术谱系，特别是在先进制程设备领域拥有不可替代的优势。

2. Canon（日本）：出货 234 台，市场份额 39.7%，主要专注于成熟制程的 i-line 和部分 DUV 设备，在汽车半导体、功率器件等领域拥有较强竞争力。

3. Nikon（日本）：出货 28 台，市场份额 4.8%，市场份额相对较小，主要聚焦于特定应用领域的 DUV 设备。

ASML 的市场主导地位主要源于其在先进技术领域的领先优势：

• 在 EUV 领域，ASML 拥有 100% 的市场份额，2025 年出货 44 台 EUV 设备

• 在 ArF immersion（193nm 浸没式）领域，占据全球主要市场份额

• 率先推出 Hi-NA EUV 技术，2025 年实现 4 台商用出货，为 3nm 及以下制程做好技术储备

EUV（极紫外）扫描仪作为 7nm 及以下先进制程的核心设备，其出货量呈现持续增长态势。2025 年 EUV 设备出货量达到 44 台，相比 2024 年的 42 台增长 4.8%。从历史趋势来看，EUV 出货量从 2017 年的 11 台增长到 2025 年的 44 台，8 年间增长了 4 倍，展现出强劲的增长动力。

值得关注的是，TechInsights 预测 2026 年 EUV 出货量将达到 50 台，同比增长 13.6%，增速明显加快，反映出全球半导体企业对先进制程产能扩张的迫切需求。

3.2 Hi-NA EUV 开启新篇章

2025 年 Hi-NA（高数值孔径）EUV 设备实现 4 台出货，标志着半导体制造设备正式进入 EUV 技术的第二代发展阶段。Hi-NA EUV 能够支持 3nm 及以下更先进制程的需求，将成为未来 5-10 年先进制程发展的关键支撑技术。

四、应用分布：TSMC 领跑先进制程投资

从 EUV 设备的采购分布可以看出全球主要芯片制造商的技术路线和产能规划：

• TSMC（台积电）

  2025 年采购 22 台 EUV 设备，占全球总量的 50%，继续保持对先进制程的大规模投资，巩固其在代工领域的领先地位。

  
  

• Samsung（三星）

  采购 12 台 EUV 设备，占比 27.3%，重点用于 3nm 制程的产能扩张，加强在先进制程领域的竞争力。

  
  

• Intel（英特尔）

  采购 4 台 EUV 设备，占比 9.1%，随着其 IDM 2.0 战略的推进，对先进制程设备的投资逐步增加。

• SK Hynix（海力士）

  采购 5 台 EUV 设备，主要用于先进存储芯片的生产。

• Micron（美光）

  采购 1 台 EUV 设备，开始在先进存储领域布局 EUV 技术。

这一分布反映出晶圆代工企业是目前 EUV 设备的主要采购方，特别是 TSMC 在先进制程领域的投资力度遥遥领先。

五、未来展望：2026 年市场趋势预测 5.1 整体市场预测

根据 TechInsights 的预测数据，2026 年全球 WFE 扫描仪市场将呈现以下发展趋势：

1. 总出货量稳中有升：预计 2026 年全球扫描仪总出货量将保持稳定增长，主要受惠于汽车半导体、AI 芯片等领域的需求拉动。

2. EUV 设备增速加快：预计 2026 年 EUV 设备出货量将达到 50 台，同比增长 13.6%，增速高于整体市场，显示出先进制程产能扩张的加速趋势。

3. 技术结构持续优化：随着先进制程需求的增加，EUV 设备在整体出货量中的占比将进一步提升，从 2025 年的 7.5% 提高到 2026 年的约 8.2%。

机遇方面：

• AI 芯片需求的爆发式增长将带动先进制程产能的扩张，增加 EUV 设备的需求

• 汽车半导体的复苏和电动化转型将拉动成熟制程设备的需求

• 新兴市场和新进入者的产能建设将为设备市场带来新的增长动力

挑战方面：

• 全球半导体行业的周期性波动可能影响设备采购节奏

• 地缘政治因素可能对设备供应链和技术转移产生影响

• 设备投资成本高企，可能制约部分企业的扩产计划

2025 年全球 WFE 扫描仪市场展现出稳健发展的态势，ASML 继续保持市场主导地位，EUV 技术成为推动行业发展的关键引擎。TSMC 等头部晶圆代工厂对先进制程的持续投资，将继续拉动 EUV 设备需求的增长。

展望 2026 年，随着 AI 芯片、汽车半导体等应用需求的持续增长，全球 WFE 扫描仪市场有望保持稳定增长，特别是 EUV 设备将成为市场增长的主要驱动力。对于半导体设备企业而言，如何在技术创新、产能扩张和供应链稳定之间取得平衡，将是未来竞争的关键。

对于半导体行业从业者和投资者而言，密切关注 EUV 设备的出货动态和主要厂商的产能规划，将有助于把握行业发展趋势和投资机会。