北京
国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“外延反应腔室的清洁系统及方法”的专利，公开号CN121915489A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本申请提供了一种外延反应腔室的清洁系统及方法，该外延反应腔室的清洁系统包括温度调节装置、压力调节装置、气体供应装置和控制装置。控制装置用于控制温度调节装置调节外延反应腔室的腔室温度以及控制压力调节装置调节外延反应腔室的腔室压力以建立至少两种不同的工艺环境，并在至少两种不同的工艺环境下，控制气体供应装置向外延反应腔室通入至少两种不同的刻蚀混合气体，以对外延反应腔室内的部件表面进行至少两个阶段的清洁。采用本申请中，可以在不同的工艺环境下通入不同刻蚀混合气体对外延反应腔室进行清洁，可清除外延反应腔室内的部件表面的固态残留物，显著提高系统的清洁效率，结构简单，适用性高。
天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息275条，此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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