北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺腔室和半导体设备”的专利，公开号CN121925054A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明公开一种工艺腔室和半导体设备，所公开的工艺腔室包括腔室本体、设于腔室本体内的基座以及相对设置的两个第一衬板，其中：腔室本体具有沿第一方向相对设置的第一进气口和第一排气口，第一进气口和第一排气口分别分布于腔室本体的两侧；腔室本体内沿第一方向分为上游区域、反应区域和下游区域，基座位于反应区域，上游区域位于第一进气口和基座之间，下游区域位于基座和第一排气口之间；两个第一衬板分别位于基座的两侧，用于对腔室本体在垂直于第一方向上的两个内侧壁形成保护；每一第一衬板中均开设有用于向下游区域吹送气体的第一气体通道。上述方案可以解决相关技术中的工艺腔室的工艺效率较低的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1407次，财产线索方面有商标信息72条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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