芯源微取得晶圆对中系统相关专利，晶圆自动对中系统校准晶圆中心传运位置

来源：新浪证券-红岸工作室

4月25日消息，国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“一种晶圆自动对中系统及方法”的专利，授权公告号CN117116829B，授权公告日为2026年4月24日。申请公布号为CN117116829A，申请号为CN202210537770.4，申请公布日期为2026年4月24日，申请日期为2022年5月17日，发明人张朋、张建，专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司，专利代理师王倩，分类号H10P72/50、H10P72/30、H10P72/76。

专利摘要显示，本发明属于晶圆精度校准领域，具体说是一种晶圆自动对中系统及方法，包括：机器人运动系统、相机传感器、相机控制器以及上位机；机器人运动系统上安装有晶圆，且与上位机连接；所述机器人运动系统上设有相机传感器，所述相机传感器设于晶圆的正下方，相机传感器的视场方向朝向晶圆底部，且相机传感器随晶圆的X轴方向移动；相机传感器与相机控制器连接；相机控制器与上位机连接；上位机，用于控制机器人运动系统，获取机器人运动系统的示教位置坐标值；同时，接收相机控制器发送的晶圆位置偏差值，并进行处理，得到放片位置坐标，并将放片位置坐标发送至机器人运动系统，对机器人运动系统进行运动控制，实现晶圆中心传运位置的校准。

芯源微于2002年12月17日成立，2019年12月16日在上海证券交易所上市，注册及办公地址均位于辽宁省沈阳市。它是国内半导体专用设备领域的领先企业，在光刻工序涂胶显影设备及单片式湿法设备方面技术领先。

芯源微主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及半导体设备、高带宽存储器HBM、光刻胶等概念板块。

2025年，芯源微实现营业收入19.48亿元，在行业14家公司中排名第7，远低于第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元，高于行业中位数16.87亿元，但低于行业平均数55.32亿元。其主营业务中，电子工艺装备收入18.79亿元，占比96.42%；产品备件收入4762.91万元，占比2.44%；其他(补充)收入2216.11万元，占比1.14%。净利润方面，2025年为7068.2万元，行业排名第10，与第一名北方华创的54.09亿元和第二名中微公司的20.64亿元差距较大，低于行业平均数8.59亿元和中位数1.62亿元。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种用于晶圆烘烤的双温度检测及加热控制方法及系统发明专利公布CN202610003990.72026-01-05CN121908837A2026-04-21黄诗淇、崔雨楠、白智源、尚柏屹2一种恒温恒湿洁净的晶圆工艺环境系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511949923.62025-12-23CN121752002A2026-03-27要一帆、毛家伟、陈艳双3压力罐机械互锁装置、压力罐及排泡管路系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511877871.62025-12-12CN121452341A2026-02-03田冲、张怀东、王丽鹤、刘健、孙元斌4匀风过滤装置件及半导体涂胶显影设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511777389.52025-11-28CN121371817A2026-01-23毛家伟、王超群、邓晓军、陈雷5匀风装置及半导体涂胶显影设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511777386.12025-11-28CN121432811A2026-01-30陈雷、王超群、毛家伟6涂胶显影装置的控制方法、设备、介质和程序发明专利实质审查的生效、公布CN202511772460.02025-11-27CN121325516A2026-01-13王超群、张建、邓晓军7涂胶显影的控制方法、设备、介质和程序发明专利实质审查的生效、公布CN202511764641.92025-11-27CN121386303A2026-01-23王超群、张建、邓晓军8一种涂胶显影设备及传片方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511772449.42025-11-27CN121578594A2026-02-27王超群、陈艳双、张建9一种双传片路径涂胶显影设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511764633.42025-11-27CN121578593A2026-02-27王超群、陈艳双、张建10一种涂胶显影设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511754101.22025-11-26CN121411079A2026-01-27谢宏宇、孙元斌、韩禹、刘硕、程远、冯荻11半导体设备的排风系统发明专利公布CN202511754103.12025-11-26CN121654820A2026-03-13陈雷、毛家伟、邓晓军12药液储存装置及药液供给系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511754105.02025-11-26CN121715298A2026-03-24唐学峰、郭亚内、王雨婷、孙元斌、刘江山13一种涂胶显影设备的胶瓶更换用结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511716218.12025-11-21CN121386302A2026-01-23王超群、毛家伟、陈艳双14用于高台阶晶圆边缘顶角的涂胶保护方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511711425.82025-11-20CN121467283A2026-02-06姜倍鸿、杨延政、杨悦、王岳天、唐振宇15一种晶圆加工腔室的供液管路及管路清洗方法发明专利公布CN202511711411.62025-11-20CN121669507A2026-03-17莫瑞琦、邓晓军、王雨婷、陈艳双、唐学峰16一种改善显影工艺的装置及干式显影工艺方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511678519.X2025-11-17CN121432819A2026-01-30齐鹏、刘凯宁、王昱昊17阳压自动调节系统、半导体设备及调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511672621.92025-11-14CN121523432A2026-02-13毛家伟、陈雷、邓晓军18一种方形基板双面UV照射清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511651642.22025-11-12CN121531954A2026-02-13黄诗淇、郭生华、龚明、张逢洋、孙洪君19一种准分子紫外清洗用结构发明专利公布CN202511651646.02025-11-12CN121548249A2026-02-17黄诗淇、郭生华、龚明、张逢洋、陈建20一种改善方形基板涂胶四角均匀性的配合设置结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511615287.32025-11-06CN121178388A2025-12-23陈建、张逢洋、郭生华、龚明、黄诗淇21一种方形基板涂胶后对边缘进行高精度光阻去除的装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511615288.82025-11-06CN121232551A2025-12-30郭生华、陈建、张逢洋、龚明、阚宇迪22一种晶圆加工腔室发明专利实质审查的生效、公布CN202511596338.22025-11-04CN121443004A2026-01-30石晶、孙元斌、韩禹、程远、谢宏宇23半导体设备供液系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511571716.12025-10-30CN121386301A2026-01-23郭亚内、王雨婷、莫瑞琦、高超、刘江山24一种方形基板工艺的高温SPM自动混酸喷头发明专利实质审查的生效、公布CN202511545914.02025-10-28CN121149060A2025-12-16龚明、戴红峰、于洋、田聪、付笑寒25一种掩膜版传送装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511518647.82025-10-23CN121084920A2025-12-09张逢洋、黄诗淇、龚明、阚宇迪、陈建26液处理器件及液处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511485570.92025-10-17CN121335457A2026-01-13刘凯宁、于威达、张怀东、王丽鹤、田冲27晶圆宏观缺陷检测设备外观专利授权CN202530600744.62025-10-14CN309916078S2026-04-14魏浩东、王震、高嘉伟、吴天昊、李海航28清洗治具及杯体清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511355541.02025-09-22CN121103794A2025-12-12刘凯宁、任洪麟、王丽鹤、张怀东29基板涂胶显影设备外观专利授权CN202530520521.92025-09-02CN309928262S2026-04-17阚宇迪、尹晓飞、张逢洋、郭生华30一种晶圆清洗装置发明专利公布CN202511237962.32025-09-01CN121035017A2025-11-28葛壮、郑云龙、张伟业、郝岩松31基板去胶清洗设备外观专利授权CN202530497953.22025-08-22CN309850246S2026-03-17付笑寒、戴红峰、郭生华、龚明、杨泽32一种针对HBM封装的晶圆产品清洗flux的工艺方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510829028.42025-06-20CN120679759A2025-09-23李孝令、李恒、张名超、朴勇男、李一南33一种晶圆浸泡装置的升降结构发明专利公布CN202510780067.X2025-06-12CN120664468A2025-09-19张庭霄、刘忠贺、陈超、向浩源34一种晶圆彩色图像一致性评价与缺陷检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510679146.12025-05-26CN120634971A2025-09-12魏浩东、张金宇、李海航、苗涛、王玉宝35一种晶圆边缘曝光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510609657.62025-05-13CN120406054A2025-08-01王永洁、王翰阳、孙元斌、韩禹、徐庆阳36一种浸泡晶圆运输防带液方法及实施该方法的防带液装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510495560.72025-04-21CN120413471A2025-08-01张庭霄、郭生华、刘忠贺、陈超37用于清洗助焊剂的低压清洗装置及清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510489966.42025-04-18CN120280379A2025-07-08徐晓伟、温海涛、吴迪、刘涛、陈琛38真空式助焊剂清洗装置及清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510489963.02025-04-18CN120319691A2025-07-15徐晓伟、温海涛、吴迪、刘涛、陈琛39一种用于镂空晶圆喷涂工艺的旋转盘体结构及承接单元发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510266639.22025-03-07CN120089627A2025-06-03童宇波、郭生华、龚明、李浩楠40气密封结构及基板处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510166636.12025-02-14CN119982900A2025-05-13郝岩松、苗涛、张伟业、赵旭、葛壮41一种适用于并联管路的控制系统及方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510138489.72025-02-08CN119565870B2025-05-27郭东、张怀东、程超、王雨婷42一种流体通断隔膜阀实用新型授权CN202520196716.72025-02-08CN223881768U2026-02-06郭东43一种液体压强测量设备实用新型授权CN202520196715.22025-02-08CN223910394U2026-02-13郭东44一种流体处理装置发明专利授权CN202510138487.82025-02-08CN119572956B2026-03-13郭东、田冲45基板边缘检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510110342.72025-01-23CN119812062A2025-04-11李海航、魏浩东、苗涛、吴天昊、王玉宝46基板边缘检测设备实用新型授权CN202520160773.X2025-01-23CN223859620U2026-01-30李海航、魏浩东、苗涛、吴天昊、王玉宝47一种热排风的冷凝装置实用新型授权CN202520089663.92025-01-15CN223716760U2025-12-26高华、王宁、杨秀春、杨佳雨、龚明48一种具有缓冲保护的晶圆抓取装置实用新型授权CN202520001007.92025-01-02CN223798679U2026-01-13于洋、刘忠贺、李舒驰、张庭霄49一种供液调压系统发明专利实质审查的生效、公布CN202411921444.92024-12-25CN119642112A2025-03-18陈超、郭生华、龚明、刘忠贺、邹春太50一种供液调压稳压系统发明专利实质审查的生效、公布CN202411921445.32024-12-25CN119665152A2025-03-21郭生华、陈超、龚明、刘忠贺、董秋实

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