北京
国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司取得一项名为“一种半导体设备”的专利，授权公告号CN224154599U，申请日期为2025年5月。
专利摘要显示，本申请提供一种半导体设备，半导体设备包括反应腔室、目标抽气管道、蝶阀和微型等离子体发生器。目标抽气管道和反应腔室连接，蝶阀设置在目标抽气管道中，微型等离子体发生器设置于目标抽气管道的目标位置，目标位置位于反应腔室和蝶阀之间。也就是说，微型等离子体发生器设置于目标腔室和蝶阀之间，这样微型等离子体发生器就可以直接在蝶阀附近生成清洁蝶阀的等离子体，从而实现直接对蝶阀进行清洗，避免等离子体从反应腔室到目标抽气管道之间的损失，提高蝶阀的清洗效率，同时利用位于蝶阀附近的等离子体对蝶阀进行均匀清洗，提高蝶阀的清洗效果。
天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息89条，专利信息635条，此外企业还拥有行政许可69个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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