国家知识产权局信息显示,达波科技(上海)有限公司申请一项名为“一种提升键合均匀性的低温键合方法及其键合片”的专利,公开号CN121865854A,申请日期为2026年3月。
专利摘要显示,本发明提供了一种提升键合均匀性的低温键合方法及其键合片,涉及晶片键合技术领域。低温键合方法包括以下步骤:(1)准备待键合的第一晶圆和第二晶圆;(2)在高真空环境下,进行第一次活化处理;(3)在中真空环境下,进行第二次活化处理;(4)在低真空环境下,进行第三次活化处理;(5)将第三次活化处理的晶圆进行键合得到键合片。本发明低温键合方法提高了活化的均匀性和键合的均匀性。
天眼查资料显示,达波科技(上海)有限公司,成立于2024年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,达波科技(上海)有限公司参与招投标项目3次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息25条,此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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