北京
国家知识产权局信息显示，埃地沃兹有限公司申请一项名为“真空抽气系统和方法”的专利，公开号CN121866409A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，一种真空抽气系统和一种用于对真空系统进行抽空的方法。真空系统可以是晶圆转移站，并且包括：较小负载锁定真空室（30），其可操作以在低于大气压的预定压力和大气压之间循环；以及较大晶圆转移真空室（40），其被构造成保持处于一压力，该压力处于或接近预定压力。真空抽气系统包括：第一真空泵和第二真空泵（10、20）；阀系统（V1、V2、V3、V4、V5），其被构造成将第一真空泵和第二真空泵与较小真空室和较大真空室选择性地连接和隔离；以及控制电路系统（25）。控制电路系统被构造成：响应于确定较小真空室（30）内的压力将在第一时间段内下降到预定压力，控制阀系统（V1、V2、V3、V4、V5）使得第一泵和第二泵（10、20）与较大真空室（40）隔离并与较小真空室（30）流体连通并且两者促成对该室进行抽空。当较小真空室（30）处于预定压力时，控制阀系统（V1、V2、V3、V4、V5）使得第二真空泵（20）与较小真空室（30）隔离并对较大真空室（40）进行抽气。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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