北京
国家知识产权局信息显示，盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司申请一项名为“调节真空设备泵送流导的装置、方法”的专利，公开号CN121826651A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本申请属于半导体技术领域，公开一种调节真空设备泵送流导的装置和方法，包括在工艺腔室和真空设备之间节流阀的下游管路上连接的二级阀，其中，靠向工艺腔室的一侧为上游，所述二级阀具有切换连通节流阀和真空设备的高泵送流导路径和低泵送流导路径，其中，从工艺腔室抽出总气体流量高于等于设定值，则二级阀切换为高泵送流导路径，从工艺腔室抽出总气体流量低于设定值，则二级阀切换为低泵送流导路径。本申请通过在节流阀下游的二级阀的构建了高泵送流导路径和低泵送流导路径，根据不同的总气体了流量来切换高低泵送流导模式，可以实现与总气体流量匹配的流导。
天眼查资料显示，盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司，成立于2018年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本88496.9314万人民币。通过天眼查大数据分析，盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目50次，财产线索方面有商标信息58条，专利信息271条，此外企业还拥有行政许可13个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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